国内量检测设备领军者，新品布局持续推进

公司是国内高端半导体检测和量测设备龙头，坚持自主研发完善产品布局。公司自2014年成立以来一直专注于半导体检测和量测设备领域，目前已成功推出了无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备等产品，可被广泛应用于 28nm 及以上制程集成电路制造和先进封装环节。经过多年的技术积累，公司无图形晶圆缺陷检测设备等产品性能可比肩海外龙头，目前已在中芯国际、长江存储、长电科技和华天科技等国内知名客户的产线上实现无差别应用。2023年5月公司成功登陆科创板，上市后融资约束缓解有望助力公司长远发展。未来公司将坚持自主研发，深耕半导体检测和量测设备领域，持续完善产品平台化布局，业绩有望保持高增态势。 需求回暖+应用创新驱动晶圆厂扩产，带动过程质量控制设备市场持续发展。 参考历史周期规律及海外龙头法说会指引，我们认为本轮由泛消费类终端需求疲软带来的半导体下行周期已接近尾声。随着下游库存的逐步出清，叠加新能源汽车、AI等终端应用持续创新，晶圆厂资本开支有望重回增长轨道。与此同时，随着半导体产业链向先进制程发展，工艺步骤增加、复杂度提升，对过程质量控制设备的需求不断提高，半导体检测和量测设备市场规模有望持续增长。竞争格局方面，目前市场仍是KLA等海外厂商主导，根据VLSIResearch、QY Research统计，2020年全球检测和量测设备市场中，KLA占据50.8%的份额，稳居市场第一，应用材料（11.5%）、日立（8.9%）、雷泰光电（5.6%）、创新科技（5.6%）和ASML（5.2%）依次位列第二至六名，国内半导体检测和量测厂商中科飞测、上海精测等市场份额仍比较小，未来尚有广阔成长空间。 公司研发实力强劲+客户资源优质，国产替代背景下量价齐升贡献业绩增长。 公司研发团队在董事长&核心技术人员陈鲁先生的带领下持续创新突破，截至2023年6月30日，公司已拥有专利401项，为后续发展提供强力保障。公司的拳头产品无图形晶圆缺陷检测设备和图形晶圆缺陷检测设备自通过国内龙头客户验证后销量快速增长，2022年全年实现销售半导体检测和量测设备138台，同比增长27.8%，同时产品单价也在性能优化迭代的过程中逐步提高，量价双升助力公司在本轮国产替代浪潮中实现快速成长。新品布局方面，目前公司正在积极研发前道纳米图形晶圆缺陷检测设备等新产品，未来公司有望凭借在无图形晶圆缺陷检测设备和先进封装领域积累的经验快速实现新品的突破。 投资建议：终端需求回暖有望带动下游晶圆厂积极扩产，量检测设备国产替代空间广阔，公司作为国内量检测设备领军厂商持续拓宽产品布局。我们预计公司2023-2025年归母净利润分别为1.12/1.74/2.78亿元 ， 对应EPS为0.35/0.54/0.87元。考虑到国产半导体设备厂商目前盈利水平较低，规模效应下业绩有望快速释放，本文采用PSG估值法。参考公司历史估值及可比公司估值，同时由于量检测设备行业壁垒高企，目前自给化率较其他半导体设备更低，公司作为国内少数可提供量检测设备的厂商，仍处于产品加速放量期，给予公司2024年0.65倍PSG，对应目标价为89.6元，首次覆盖给予“强推”评级。 风险提示：国际贸易形势变化；下游晶圆厂扩产不及预期；技术迭代或新产品开发不及预期；行业竞争加剧。 主要财务指标 投资主题 报告亮点 报告对公司业务及驱动力进行详细地分析：公司自成立以来一直专注于半导体检测和量测设备领域，以无图形晶圆缺陷检测设备起家，逐渐将业务拓展至图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备和3D曲面玻璃量测设备，目前公司产品可被广泛应用于 28nm 及以上制程集成电路制造和先进封装领域，未来公司将深耕半导体质量控制领域，持续拓宽产品布局。随着终端需求的复苏，晶圆厂资本开支有望重回高增轨道，自主可控背景下国产半导体厂商迎来难得的替代机遇。公司作为国内半导体检测和量测设备龙头厂商，无图形晶圆缺陷检测设备等拳头产品性能优异，客户资源优质，同时公司正积极拓展布局纳米图形晶圆缺陷检测等设备，业绩有望保持高增长态势。 投资逻辑 本报告围绕公司主营业务展开，第一章先对公司发展历程、主营业务、股权结构、管理团队等情况进行介绍，再从财务分析角度对公司经营情况做出分析，最后阐述公司未来增长驱动因素。第二章从市场规模、行业发展驱动力和竞争格局三个维度对半导体检测和量测设备市场进行分析，指出下游需求复苏叠加终端应用创新有望带动晶圆厂资本开支重回高增轨道，同时先进制程发展带动半导体检测和量测设备市场持续增长，国内半导体厂商有望在国产替代的进程中深度受益。第三章对公司优势进行阐述，公司研发实力雄厚，目前部分产品性能可比肩海外龙头，并在国内知名客户产线上实现无差别应用；同时公司正积极布局新产品打开远期成长空间，未来有望在国产替代的进程中快速成长。 关键假设、估值与盈利预测 我们进行盈利预测的关键假设为：1）半导体行业周期底部已过，下游晶圆厂扩产重回增长轨道，同时上游零部件供应充足，公司量、检测新设备在前道客户端验证顺利；2）国际贸易形势相对稳定，国内晶圆厂国产替代动力充足； 3）行业竞争格局保持相对稳定，短期内不存在竞争加剧。我们预计公司2023-2025年营业收入为8.01/11.93/16.34亿元，对应增速为57.30%、49.00%、36.95%，整体毛利率水平分别为49.83%、50.77%、52.00%。 终端需求回暖有望带动下游晶圆厂积极扩产，量检测设备仍有国产替代空间，公司作为国内量检测设备领军厂商持续拓宽产品布局。我们预计公司2023-2025年归母净利润为1.12/1.74/2.78亿元，对应EPS为0.35/0.54/0.87元。考虑到国产半导体设备厂商目前盈利水平较低，规模效应下业绩有望快速释放，本文采用PSG估值法。参考公司历史估值及可比公司估值，同时由于量检测设备行业壁垒高企，目前国产化率相较刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP等其他半导体设备更低，公司作为国内少数能够提供量检测设备的厂商，仍处于产品加速放量期，给予公司2024年0.65倍PSG，对应目标价为89.6元，首次覆盖给予“强推”评级。 一、国产半导体量检测设备龙头，产品矩阵拓展打开成长空间 （一）国内半导体质量控制领域领军者，依托中科院平台快速成长 公司自2014年成立起专注于半导体量检测赛道，目前已成功推出无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测和3D曲面玻璃量测等设备，应用于28nm 及以上晶圆制造和先进封装领域，同时公司也在开发新产品拓宽产品矩阵： 技术积累阶段（2014-2018年）：公司依托专业的研发团队，以无图形晶圆缺陷检测和三维形貌量测设备为切入点，2017年前述设备分别通过中芯国际和长电先进产线的认证，2018年公司图形晶圆缺陷检测设备也通过长电科技的验收； 持续拓展阶段（2019-2022年）：依托在光学检测技术、大数据检测算法方面的技术积累，公司实现了前道量检测设备的快速突破，2019-2020年公司三维形貌量测设备和薄膜膜厚量测设备分别通过长江存储和士兰集科的产线验证； 快速放量阶段（2023年-至今）：公司2023年5月于科创板上市，IPO募资资金将助力公司长期发展。目前公司正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶圆金属薄膜量测设备等新产品，随着新产品的逐渐突破，未来公司业绩有望持续增长。 图表1公司发展历程情况 公司设备主要包括检测设备（无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备）和量测设备（三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、3D曲面玻璃量测设备），目前公司产品已在国内主要集成电路制造厂商中取得重复订单，成功打破国外厂商的垄断： 检测设备：公司无图形晶圆缺陷检测设备性能比肩海外龙头，目前已在中芯国际等知名晶圆制造厂商的产线上实现无差别应用；图形晶圆缺陷检测设备已在长电先进、华天科技等先进封装厂商中实现无差别应用，未来市场份额有望持续提升； 量测设备：公司三维形貌量测设备能够支持 28nm 及以上制程集成电路前道工艺，目前已获得长江存储等头部客户认可；前道用薄膜膜厚量测设备也在不断升级迭代中，未来有望放量贡献业绩；3D曲面玻璃量测设备已被用于精密加工领域的生产。 图表2公司产品布局情况 公司实际控制人为陈鲁、哈承姝夫妇，中科院微电子所、哈勃投资等均为公司股东。截至2023Q3末，陈鲁、哈承姝夫妇通过苏州翌流明持有11.81%的公司股权，员工持股平台小纳光持有公司5.89%股份，陈鲁、哈承姝夫妇通过苏州翌流明对小纳光享有控制权，同时哈承姝女士直接持有公司5.20%股份。陈鲁、哈承姝夫妇合计控制公司22.90%股份，为公司实际控制人。此外中科院微电子所、深创投等均为公司股东，分别持有公司3.63%、3.06%股份，公司股权结构融合产业资源、员工持股及财务投资等，为远期发展提供助力。 图表3公司股权结构情况（截至2023年三季报） 公司以中科院微电子研究所为基，核心技术人员研发经验丰富，管理层国际视野开阔。 公司董事长&核心技术人员陈鲁先生从事半导体质量控制设备领域研究二十年，曾任科磊半导体的资深科学家，2010年回国就职于中科院微电子研究所，2014年带领团队开始创业。公司自成立起通过与中科院微电子研究所合作以及自行培养，形成在光学、算法、软件等方面具有丰富经验的专家团队，构成公司研发的中坚力量。截至2023年6月30日，公司研发团队人数达334人，为后续发展提供坚实保障。 图表4公司核心技术人员履历 （二）公司业绩保持高增长，规模效应下盈利能力有望不断提高 半导体设备行业发展叠加国产替代浪潮，公司持续拓宽产品线，业绩有望保持高增长。 下游晶圆厂扩产叠加国产替代加速，公司作为国内半导体量检测设备龙头，把握机遇实现业绩高增长。公司营业收入从2018年的0.30亿元增长至2022年的5.09亿元，CAGR达到102.95%。归母净利润方面，公司2020年实现扭亏为盈，2022年加大研发投入力度导致短期净利润承压。公司2023Q1-3营业收入同比+127.99%至5.88亿元，归母净利润同比+454.18%至0.79亿元。随着公司新产品的放量，规模效应下业绩有望持续高增长。 图表5公司2018-2023Q1-3营业收入及增速 图表6公司2018-2023Q1-3归母净利润及增速 规模效应下公司毛利率快速增长，期间费用率趋于稳定，盈利能力有望进一步提高。公司规模效应逐渐显现叠加产品结构优化，带动综合毛利率从2018年的23.67%快速增长至2023Q1-3的49.86%。期间费用率方面，由于2018-2019年公司尚处于起步阶段，高研发投入和股权激励费用导致公司当期研发及管理费用率较高，2020年后随着公司营收规模的扩大，在保持高研发投入的同时期间费用渐趋于稳定。展望未来，随着公司新产品的逐步放量带动产品结构持续优化，公司盈利能力有望进一步提高。 图表7公司2018-2023Q1-3毛、净利率情况 图表8公司2018-2023Q1-3期间费用率情况 分产品看，近年来检测设备的快速放量带动公司整体业绩快速增长，需求有望持续旺盛； 量测设备也逐渐从市场推广期进入订单收获期，未来将协同检测设备贡献业绩增量： 检测设备：2022年公司检测设备收入同比增长45.01%至3.85亿元，占总营收比重75.56%，毛利率为52.63%。受益行业发展叠加公司技术实力强劲，公司产品快速放量，未来随着终端需求回暖叠加国产替代加速，公司检测设备业务有望持续高增长。 量测设备：2022年公司量测设备收入同比增长25.06%至1.18亿元，占总营收比重23.09%，毛利率35.84%。新品拓展持续进行，公司量测设备逐步进入业绩收获期，未来随着出货量的增加，规模效应显现，公司量测设备业务盈利能力有望不断提高。 图表9公司2018-2022年营收结构（单位：亿元） 图表10公司2018-2022年分产品毛利率 公司