制程设备持续深入，加速布局电子材料及核心零部件

公司研究●证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 公司快报 机械|其他专用机械Ⅲ投资评级买入-A(维持)股价(2023-09-01)26.97元 制程设备持续深入，加速布局电子材料及核心零部件 投资要点 总市值（百万元）10,429.52流通市值（百万元）10,391.14总股本（百万股）386.71流通股本（百万股）385.2812个月价格区间45.30/26.24 2023年8月28日，公司发布2023年半年度业绩报告。2023年H1公司营业收入为14.80亿元，同比增长32.13%，归母净利润为1.09亿元，同比增长33.67%；毛利率为34.96%，净利率为5.82%。 制程设备业务持续深入，高纯工艺系统集成订单再创新高业务。（1）制程设备业务：公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高工艺机台，至微S300SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。2023H1，单设备在用户量产线上累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口重要里程碑。目前至微是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。公司湿法设备应用于成熟制程产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。（2）高纯工艺系统集成业务:以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务仍保持良好增长，订单再创新高。公司已成为国内最大高纯工艺系统支持设备供应商，有效替代并改变原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，核心客户均为行业一线用户如中芯国际、华虹、华力、华为、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益-7.86-18.1-4.15绝对收益-12.35-19.92-9.92 分析师孙远峰SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn分析师王海维 启东基地二期、海宁基地及日本工厂顺利启用，产能提升助力主营发展后劲。启东设备制造基地二期P1厂房3万平米交付启用，产线顺利建设完成，已经正式投产；海宁模组及精密制造基地8.5万平米交付启用，设备机台顺利移入，已经正式投产；日本子公司办公及厂房约5000平米完成交付和搬入，正式启用，为进一步开拓海外市场发展提供基础。2023H1，公司已经建成34万平米的生产和服务基地，另有10万平米建设中将于年内交付，能有效支持公司在“十年展望-五年规划-三年路径-年度目标”框架下的中短期和长期战略目标。公司产品线布局和产能建设都已经能够支持年度百亿订单交付，为公司实现3-5年经营战略目标奠定了基础。 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn 相关报告 至纯科技：紧握国产替代历史机遇，加码湿法设备巩固国内行业领先地位-业绩快报_至纯科技2023.4.9 加速布局电子材料及核心零部件业务，持续加强制程设备本土供应链建设。电子材料及核心零部件方面：（1）大宗气业务已经稳定地给公司贡献收入，由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂指标完全达标，目前已持续稳定供气达到1.5年，成功打破原先先进制程大宗气由国际供应商垄断情势，实现国内自主大宗气站零突破。（2）合肥晶圆再生和腔体部件再生业务量开始进入稳定爬坡，下半年预期进入盈亏平衡并逐步进入利润贡献期，在用户导入方面已经顺利调整策略并进入有序业务爬升中。（3）TGM/TCM驻厂服务有序开展，部分腔体部件开始验证，皆为长期用户基于信任需求导入，在电子材 料方面也已开始布局。供应链建设方面：公司于2021年起部署人力物力加强制程设备本土供应链的建设，以确保业务连续性并提升交付周期。2023H1，制程设备本土供应链的建设进一步取得成果，公司通过订单牵引、合作开发等一系列举措培养本土上游供应链的阶段目标一一达成。 投 资 建 议 ：我 们 维 持 盈 利 预 测 ， 预 计2023年 至2025年 营 业 收 入 分 别为42.71/50.88/58.74亿元，增速分别为40.1%/19.1%/15.5%；归母净利润分别为5.23/6.76/8.79亿 元 ， 增 速 分 别 为85.1%/29.3%/30.0%； 对 应PE分别19.9/15.4/11.9。考虑到至纯科技在国内清洗设备领域领先地位，且产品率先突破14nm制程，叠加系统集成业务导入一线集成电路制造企业，维持买入-A建议 风险提示：新建晶圆厂进程不及预期；公司研发进展不及预期；国内外同行业竞争加剧，造成人才流失风险。 财务报表预测和估值数据汇总 公司评级体系 收益评级： 买入—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数15%以上；增持—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数5%至15%；中性—未来6个月的投资收益率与沪深300指数的变动幅度相差-5%至5%；减持—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数5%至15%；卖出—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数15%以上； 风险评级： A—正常风险，未来6个月投资收益率的波动小于等于沪深300指数波动；B—较高风险，未来6个月投资收益率的波动大于沪深300指数波动； 分析师声明 孙远峰、王海维声明，本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格，勤勉尽责、诚实守信。本人对本报告的内容和观点负责，保证信息来源合法合规、研究方法专业审慎、研究观点独立公正、分析结论具有合理依据，特此声明。 本公司具备证券投资咨询业务资格的说明 华金证券股份有限公司（以下简称“本公司”）经中国证券监督管理委员会核准，取得证券投资咨询业务许可。本公司及其投资咨询人员可以为证券投资人或客户提供证券投资分析、预测或者建议等直接或间接的有偿咨询服务。发布证券研究报告，是证券投资咨询业务的一种基本形式，本公司可以对证券及证券相关产品的价值、市场走势或者相关影响因素进行分析，形成证券估值、投资评级等投资分析意见，制作证券研究报告，并向本公司的客户发布。 免责声明： 本报告仅供华金证券股份有限公司（以下简称“本公司”）的客户使用。本公司不会因为任何机构或个人接收到本报告而视其为本公司的当然客户。 本报告基于已公开的资料或信息撰写，但本公司不保证该等信息及资料的完整性、准确性。本报告所载的信息、资料、建议及推测仅反映本公司于本报告发布当日的判断，本报告中的证券或投资标的价格、价值及投资带来的收入可能会波动。在不同时期，本公司可能撰写并发布与本报告所载资料、建议及推测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息及资料保持在最新状态，本公司将随时补充、更新和修订有关信息及资料，但不保证及时公开发布。同时，本公司有权对本报告所含信息在不发出通知的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。任何有关本报告的摘要或节选都不代表本报告正式完整的观点，一切须以本公司向客户发布的本报告完整版本为准。 在法律许可的情况下，本公司及所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务，提请客户充分注意。客户不应将本报告为作出其投资决策的惟一参考因素，亦不应认为本报告可以取代客户自身的投资判断与决策。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议，无论是否已经明示或暗示，本报告不能作为道义的、责任的和法律的依据或者凭证。在任何情况下，本公司亦不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任。 本报告版权仅为本公司所有，未经事先书面许可，任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制、发表、转发、篡改或引用本报告的任何部分。如征得本公司同意进行引用、刊发的，需在允许的范围内使用，并注明出处为“华金证券股份有限公司研究所”，且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。 华金证券股份有限公司对本声明条款具有惟一修改权和最终解释权。 风险提示： 报告中的内容和意见仅供参考，并不构成对所述证券买卖的出价或询价。投资者对其投资行为负完全责任，我公司及其雇员对使用本报告及其内容所引发的任何直接或间接损失概不负责。 华金证券股份有限公司 办公地址：上海市浦东新区杨高南路759号陆家嘴世纪金融广场30层北京市朝阳区建国路108号横琴人寿大厦17层深圳市福田区益田路6001号太平金融大厦10楼05单元 电话：021-20655588网址：www.huajinsc.cn