聚焦IC电子特气国产化，具备长期成长性

聚焦电子特气国产替代，集成电路领域客户持续突破。公司是国 内IC领域电子特气龙头，22年特气收入占比73%，对国内8寸晶圆厂覆盖率超85%，客户CR5达32%。晶圆厂对产品认证周期很长，客户粘性强，公司可依托丰富的产品矩阵和与下游同步更新的气体品类来持续扩大产品份额。23H1公司收入7.41亿，yoy-16.2%，归母净利0.75亿，yoy-36.9%，主要受稀有气体降价和晶圆厂稼动率下滑的影响。 人民币(元)成交金额(百万元) 横向拓品类，纵向延伸产业链，长期盈利能力有望提升。公司以 氟碳类气体纯化为切入点，横向延拓出光刻气、氢化物、氮氧化合物、碳氧化合物五大品类，单一产品规模小但进口替代空间大，整体毛利率在30%左右。为提升附加值，公司纵向布局上游合成端，合成品类数量从上市前的5%左右提升至22Q3的20%左右，22年锗烷已进入三星5nm产线，六氟丁二烯、乙硅烷也将陆续推出，提升长期盈利能力。 半导体行业逐步筑底，电子特气国产化有望加速。半导体行业已 下行2年多，SEMI在8月预计24Q1行业触底，特气有望跟随修复。21年全球和国内电子特气市场约44亿美元和150亿元，国内主要上市公司特气收入仅占16%和30%，19-22年上述国内公司特气收入复合增速高达32%，在全球半导体关键设备、技术趋向对国内封闭化的当下，国产电子特气有望加速渗透。 储备项目充裕，未来成长可期。截至23H1，公司公告的在研项目 48项，在建的九江、南通、西南基地将承接原品类扩产与研发项目落地，其中六氟丁二烯、锗烷、乙硅烷等产品具备高增长潜力。今年3月公司发行可转债6.46亿元用于1764吨半导体材料 建设等项目，当前转股价83.75元/股。 公司以小品种+纯化工艺切入电子特气，形成很高的客户壁垒，同时向上游合成端与大品类延伸，具备长期增长前景，我们预计公司23-25年归母净利润2.14、2.86、3.96亿元，对应EPS1.78、2.38、3.29元/股，对应PE37、28、20倍，给予公司24年32倍估值，对应目标价76.03元/股，给予“买入”评级。 半导体行业复苏进度不及预期、新产品研发与验证进度不及预期、原材料价格冲击、人民币汇率波动风险、限售股解禁风险、股东减持风险 136.00 120.00 104.00 88.00 72.00 56.00 220921 成交金额华特气体沪深300 600 500 400 300 200 100 0 内容目录 一、华特气体：聚焦集成电路特种气体的国产化供应商5 1.1以氟碳类气体为切入点实现进口替代，稳步扩充产品品类5 1.2集成电路领域客户持续突破，直销与分销相辅相成9 1.3内延产业链拓品类，外降出口中间环节，长期盈利能力有望提升12 1.4民企股权结构稳定，上市以来两次实施股权激励15 二、半导体行业逐步筑底，电子特气国产化有望加速15 2.1电子特气：半导体工业的血液，制备壁垒高15 2.2半导体行业逐步筑底，电子特气需求有望回升18 2.3电子特气市场持续增长，国产化有望加速20 三、公司储备项目充裕，未来成长可期21 3.1全国多基地布局，产品向高端制程与复杂工序延伸21 3.2六氟丁二烯：新型含氟刻蚀气体，有望贡献业绩增量26 3.3锗烷、乙硅烷：优质沉积类气体，具备高增长潜力28 四、盈利预测与投资建议28 4.1盈利预测28 4.2投资建议及估值30 五、风险提示31 图表目录 图表1：公司业务分类与产品明细5 图表2：公司主要特种气体类产品明细与竞争优势6 图表3：公司氟碳类气体收入情况7 图表4：公司氟碳类气体产销量与毛利率7 图表5：公司光刻及其他混合气体收入情况7 图表6：公司光刻及其他混合气体产销量与毛利率7 图表7：公司碳氧化合物收入情况8 图表8：公司碳氧化合物产销量与毛利率8 图表9：公司高纯一氧化碳销售金额（万元）8 图表10：公司氢化物收入情况8 图表11：公司氢化物产销量与毛利率8 图表12：公司氮氧化合物收入情况9 图表13：公司氮氧化合物产销量与毛利率9 图表14：公司高纯一氧化氮收入情况9 图表15：公司境外食品级氧化亚氮收入情况9 图表16：公司特种气体已实现供货的客户10 图表17：公司部分终端客户销售金额统计10 图表18：中芯国际收入（百万元）及增速（%）11 图表19：华润微收入（百万元）及增速（%）11 图表20：公司部分海外客户销售金额统计11 图表21：公司销售规模500万元以上客户数量及销售金额11 图表22：公司16-23H1收入与净利润情况12 图表23：公司2022年收入结构12 图表24：可比公司电子特气收入对比（百万元）12 图表25：可比公司电子特气收入增速对比（%）12 图表26：2020年以来稀有气体价格（元/方）13 图表27：可比公司特气业务毛利率对比（%）13 图表28：公司出口业务营业收入及占比（百万元，%）14 图表29：公司出口业务毛利率（%）14 图表30：可比公司三费率（%）14 图表31：可比公司研发费用率（%）14 图表32：可比公司存货周转天数14 图表33：可比公司应收账款周转天数14 图表34：公司股权结构15 图表35：公司21年股权激励业绩目标及完成情况15 图表36：公司23年股权激励业绩目标15 图表37：工业气体分类16 图表38：电子气体的主要种类16 图表39：2021年全球市场规模前十的电子特气16 图表40：电子特气在集成电路工艺中的应用17 图表41：全球各地区半导体材料收入（亿美元）17 图表42：半导体不同工艺段下使用的电子特气17 图表43：特种气体制备工序及技术难点18 图表44：全球半导体销售额（亿美元）19 图表45：美国半导体相关开工率与出口价格增速（%）19 图表46：全球智能手机、PC出货量当季同比（%）19 图表47：费城半导体指数19 图表48：DRAM各厂商季度收入（亿美元）20 图表49：某型号DRAM、NAND价格（美元/颗）20 图表50：存储芯片23、24年供需增速预测20 图表51：12寸晶圆厂设备投资预测20 图表52：全球12寸晶圆厂份额变化20 图表53：全球电子气体市场规模（亿美元）21 图表54：国内电子气体市场规模（亿元）21 图表55：全球电子特气供给占比21 图表56：海内外公司气体业务收入情况（亿元）21 图表57：公司气体生产基地布局与产能情况22 图表58：公司重点项目梳理23 图表59：公司重点项目产品梳理23 图表60：公司重点产品在研项目（2023年半年报）25 图表61：硅基器件部分材料等离子体刻蚀常用化学刻蚀剂及辅助气体26 图表62：含氟清洗气体清洗效率比较26 图表63：新旧含氟电子特气GWP（100）值比较27 图表64：六氟丁二烯主要合成路线27 图表65：六氟丁二烯等离子化刻蚀主要原理27 图表66：国内六氟丁二烯规划梳理28 图表67：国内部分企业乙硅烷项目规划28 图表68：公司业绩拆分与盈利预测30 图表69：可比公司估值比较（23年9月20日）31 1.1以氟碳类气体为切入点实现进口替代，稳步扩充产品品类 公司是一家致力于特种气体国产化，并率先打破极大规模集成电路、新型显示面板、高端装备制造、新能源等尖端领域气体材料进口制约的民族气体厂商。公司主营业务以特种气体的研发生产及销售为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务，提供气体一站式综合应用解决方案。 业务分类用途产品 图表1：公司业务分类与产品明细 清洗、蚀刻气 高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯三氟甲烷、高纯一氟甲烷、高纯二氟甲烷、高纯乙烯、高纯六氟丙烷、HBR、三氯化硼等 电子特气 特 光刻气氪氖混合气、氟氖混合气等外延气体、沉积/成膜气体（亦可称为前驱体）高纯氨、硅烷、乙硅烷等 掺杂气体乙硼烷、三氯化硼、磷烷、锗烷等 其他氮气（6N）、氢气（6N）、氩气 （5.5N）等 种医疗气体用于诊断、手术、医学研究等医用氧、血气测定混合气、环氧气乙烷、消毒气等 体在物理、化学、生物工程等领域中用于校准测量仪 标准气体 激光气体 器和测量过程，评价准确度和检测能力，确定材料的特性量值 用于国防建设、激光加工等，准分子激光气体可广泛应用于医疗、光刻、OLED显示等行业，在眼科LASIK手术，矫治屈光不正（近视、远视、散光）、白癜风、银屑病、过敏性皮炎、以及在心血管疾病中如冠心病、周围血管疾病、心脏瓣膜病、先天性心脏病和肥厚性心肌病等均有应用 由高纯碳氢气体配制 氦氖激光气、密封束激光气等 食品气体用于饮料气体、蔬菜/水果保鲜等二氧化碳、乙炔、氩等 电光源气体用于电器、灯具生产氩、氪、氖、氙及其混合气 用作金属冶炼等行业的助燃剂、化肥等化工行业的 氧化剂氧气 用作化工、机械制造、家电等行业的保护气、金属氮气冶炼等行业的炉温退火 普通工业气体 用作电弧焊接的保护气、填充光电管以及光伏行业 单晶硅/多晶硅生产过程保护气等氩气 工气体设备：主要程包括低温绝热气与瓶、小铝瓶、汽设化器、撬装装备置、低温压力容 用作电厂环保脱硝处理、味精生产、金属加工等，以及进一步纯化得到高纯氨产品 应用于天然气存储、激光切割、水产养殖、医院供氧、金属焊接、食品速冻等领域 主要为工业用气单位、天然气场站、燃气锅炉、工业炉窑等供气 工业氨特易冷 调压计量加臭撬 器等主要用于LO2、LAr、LN2、LCO2、LNG、N2O等低温 液体的盛装与运输 焊接绝热气瓶 气体工程：主要是为客户提供供气系统设计、安装、维修等配套服务，包括为特种气体客户提供的定制化高纯洁净供气系统服务，以保证特种气体产品在其使用过程中的纯度、精度等保持稳定 来源：公司公告，国金证券研究所 公司的特种气体聚焦以集成电路为主的半导体领域。公司产品包括集成电路领域应用的电子特种气体，光伏、面板、LED、LCD领域应用的特种气体和医疗大健康及食品领域应用的特种气体，其中，集成电路领域应用电子特种气体产品在电子领域实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯、高纯甲烷、高纯六氟丁二烯等众多产品的进口替代。公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、氢化物、氮氧化合物等系列产品主要应用在泛半导体制程工艺中的刻蚀、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离子注入等核心环节，对最终元器件的性能起到关键决定性作用。 产品类别公司主要产品名称国内主要竞争对手竞争优势及市场地位 图表2：公司主要特种气体类产品明细与竞争优势 四氟化碳、六氟乙 中船特气：六氟丁二烯、六氟乙烷、八氟环丁烷 雅克科技：四氟化碳、六氟化硫 1、产品种类丰富。公司氟碳类产品涵盖面较广，具备多种氟碳类产品的生产能力，八氟丙烷产品公司为除外资厂商外目前国内重要的供应商； 2、较早取得了下游半导体领域客户认证。公 氟碳类 烷、八氟丙烷、八氟司对氟碳类产品布局较早，其中四氟化碳、六 环丁烷、三氟甲烷等 福建德尔科技：三氟甲 烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫、八氟环丁烷 氟乙烷、三氟甲烷等产品在国内首批实现了产品进口替代，已大量稳定向8寸以上芯片厂商供货。 光刻气 氩氙氖混合气、氪氖混合气、氟氪氖混合 派瑞特气1、目前国内率先取得全球最大的光刻机公司 ASML认证的光刻气产品； 气、氟氩氖混合气 碳氧化合物高纯一氧化碳、高纯 二氧化碳 氮氧化合物高纯一氧化氮、食品 级氧化亚氮 凯美特气 绿菱气体：高纯一氧化碳 上海浦江特种气体有限公司：高纯二氧化碳 2、根据公司市场调研，公司光刻气产品在国 内市场占有率超过60%，位居国内市场第一。1、高纯一氧化碳和高纯二氧化碳产品均为国内首批实现进口替代的产品，打破了国外气体公司垄断，目前公司高纯一氧化碳的国内份额位居市场前列； 2、目前金宏气体、南大光电等国内同行业上市公司均未量产相关产品，公司产品具有较强市场竞争力。 国内首批实