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碳化硅领域持续发力,成功发布6寸双片式碳化硅外延设备&8寸衬底即将小批量产

2023-02-06 周尔双,刘晓旭 东吴证券 南柯故人
碳化硅领域持续发力,成功发布6寸双片式碳化硅外延设备&8寸衬底即将小批量产