本报告研究了辽宁省发布的《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》，该政策从投资扩产、研发、销售、投融资等多维度给与半导体设备企业补贴，包括扩产端、研发端、销售端和投融资端。同时，该报告还指出，国内半导体设备厂商正迎来黄金发展期，国内晶圆厂商的大幅扩产，极大地拉动国内半导体设备需求，助推国产替代进程。报告建议关注国内半导体设备及零部件领先企业芯源微、拓荆科技、富创精密、北方华创、中微公司、精测电子、华海清科、万业企业、盛美上海、至纯科技等。
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