2022年中国三氟化氮（NF3）行业发展现状及竞争格局分析，三氟化氮（NF3）国产化水平稳步提升 一、中国氟化工产业发展情况 氟化工产品是指含氟化学品的制造与开发，氟化工产品是一种新型的化工材料，因其产品的高附加值和高性能而被誉为“黄金”产业。氟化工产品按其分子结构和性能不同，可划分为含氟单体、有机氟化物和无机氟化物。 氟化工分类 资料来源：智研咨询整理 据测算，2016-2021年中国氟化工行业市场规模逐年上升，2021年市场规模大约为665亿元。综合来看，氟化工行业年均复合增长率为22.1%，这主要得益于下游空调制冷系统和新能源汽车行业对于氢氟酸和六氟磷酸锂的需求十分旺盛。 2016-2021年中国氟化工行业市场规模走势 分类定义性质含氟单体是指含有氟分子，能起聚合反应或缩聚反应等而成高分子化合物的简单化合物含氟单体是制备含氟共聚物的重要基础原料，也是合成其他含氟化合物的重要中间体，被广泛应用于表面防护剂用含氟聚合乳液、含氟聚合树脂以及四氟涂料的生产领域。含氟单体包括了四氟乙烯单体，六氟丙烯单体等等。有机氟化物是有机化合物分子中与碳原子连接的氢被氟职代的一类元素有机化合物，因此也叫做氟碳化合物由于氟是电负性最大的元素，多氟有机化合物具有化学稳定性、表面活性和优良的耐温性能等特点，但值得注意的是，有机氟化物往往都是剧毒化学品。无机氟化物无机氟化物就是不包含碳原子，单纯是氟分子与金属分子连接的化合物无机氟化物也就是我们一般所指的氟化物。氟化物容易与某些高氧化态的阳离子形成稳定的配离子。与其他卤化物不同，金属锂、碱土金属和镧系元素的氟化物难溶于水，而氟化银可溶于水，其他金属的氟化物易溶于水。氟化氢的水溶液称氢氟酸，是一种弱酸。金属氟化物还易形成酸式盐。制图：智研咨询（www.chyxx.com） 资料来源：智研咨询整理 二、三氟化氮（NF3）概述 三氟化氮（NF3）是无机氟化物的一种，在常温下是一种无色、无味、性质相对稳定的气体，是电子工业中优良的等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂，可单独或与其它气体组合用作等离子体工艺的蚀刻气体，例如 NF3、NF3/Ar、NF3/He 用于硅化合物 MoSi2的蚀刻；NF3/CCl4、NF3/HCl 既用于 MoSi2的蚀刻，也可用于 NbSi2的蚀刻。 三氟化氮理化性质分析 资料来源：智研咨询整理 三、中国三氟化氮（NF3）行业生产销售情况 无机氟化工行业被称为“黄金”产业，在国民经济和社会发展中起着重要作用，技术资本密集，产业相关性高，对相关产业升级起着决定性作用。无机氟化物分为如下大类：含氟电子化学品、铝用氟化盐、特种氟化物气体（如：三氟化氮）等。 相关报告：智研咨询发布的《2022-2028年中国三氟化氮行业市场运行格局及发展策略分析报告》 据统计，2015年我国三氟化氮产量在2887.3吨左右，2021年产量增长至15317.1吨，2015-2021年实现年均复合增速32.06%。 2015-2021年中国三氟化氮行业产量 性质名称数值沸点（101.33 kPa）-129.0 °C（-200.25 °F）熔点-206.8 °C（-340.24 °F）气体密度（101.33 kPa，25 °C）2.98 kg/m³（0.1864 lb/ft3）液体密度（沸点下）153.3 kg/m³（0.1864 lb/ft3）气体比重（101.33 kPa，25 °C，空气=1）1900年1月2日比热（气体，25 °C）12.70 cal/（mol稫）生成热（气体，25 °C）-31.43 kcal/mol临界温度Tc-39.25 °C（-38.65 °F）临界压力Pc44.96大气压临界体积Vc123.8 cm3/mol在水中的溶解度（101.33 kPa，25°C）1.4×10-5 mol NF3/mol H2O制图：智研咨询（www.chyxx.com） 资料来源：智研咨询整理 国内三氟化氮产业发展迅速，2015年我国三氟化氮进口901.7吨，出口203.6吨，产品供不应求；2019年我国三氟化氮产品出口数量首次超过进口，到2021年出口量达到1999吨。 2015-2021年我国三氟化氮行业进出口情况 资料来源：中国海关、智研咨询整理 根据数据汇总，2021年我国三氟化氮产量15317.1吨，进口1022.4吨，出口1999吨，测算2021年我国三氟化氮行业需求量达到14340.5吨。 2015-2021年中国三氟化氮行业需求量 资料来源：智研咨询整理 四、中国三氟化氮（NF3）应用领域及市场结构 三氟化氮作为微电子工业中优良的等离子体蚀刻气体，可裂解成活性氟离子，对硅和钨化合物具有优异的蚀刻速率和选择性。在蚀刻表面上，它可以不留下任何残留物，是一种非常好的清洗剂，能对生产设备腔体的清洗起到很好的作用，在芯片制造、高能激光领域已经获得大量使用。 三氟化氮主要应用领域 资料来源：智研咨询整理 序号应用领域主要用途备注1集成电路刻蚀剂、清洗剂2LCD清洗剂3WF6原材料、氟化剂WF6电子工业中作为金属钨 CVD工艺的原材料4激光器氟化剂5太阳能电池刻蚀剂、清洗剂主要用于产量较小的薄膜太阳能电池制图：智研咨询（www.chyxx.com） 2021年三氟化氮在不同领域的应用占比 资料来源：智研咨询整理 三氟化氮是电子特气中用量最大的品种，目前对三氟化氮需求拉动最大的是半导体产业和面板产业。半导体产业方面，中国半导体行业协会数据显示，2021年中国集成电路产业销售额为10458.3亿元,同比增长18.2%，且全球集成电路制造正持续向中国大陆转移。面板产业方面，中国大陆已成为全球最大的面板生产地。三氟化氮，作为面板和半导体生产加工过程中的特种气体，具有广阔的市场空间。随着高世代面板生产线的生产和半导体生产工艺的改进，需要更多的光罩层数和清洗频率，三氟化氮需求的增长率将高于面板和晶圆产能的增长速度。 五、中国三氟化氮（NF3）行业企业竞争格局 目前，中船重工718所、南大光电、昊华科技等国内厂家已成为全球三氟化氮生产的重要力量，其中718所是国内产能最大的三氟化氮企业。随着各企业逐步投产，国内三氟化氮即将进入产能释放期，中国企业也有望进一步提升全球市场的参与度。 2021年我国部分企业三氟化氮产能统计 资料来源：公司公告、智研咨询整理 以昊华科技公司为例，2017年公司三氟化氮产量1078吨，2021年产量增长至2542吨，2017-2021年公司的产量份额保持在16-22%左右。 2017-2021年昊华科技公司三氟化氮生产销售情况 资料来源：公司公告、智研咨询整理 2017-2021年昊华科技公司三氟化氮产量份额 资料来源：公司公告、智研咨询整理 近年来，随着一些高新技术产业生产重心东移和国家政策的大力支持，我国电子信息技术产业发展迅速，市场对三氟化氮的需求迅速增加。同时，随着国内企业创新研发能力的提高，三氟化氮行业的相关企业有望突破国界，开启海外市场销售的新局面。 六、三氟化氮行业发展前景 三氟化氮是面板、半导体生产过程中不可或缺、用量大的特殊电子气体，市场前景十分看好。2021年11月中国工业气体工业协会发布《中国气体行业“十四五”发展指南》，提出了“十四五”期间气体行业发展的五项重点任务：一是立足国内大循环，推动国内国际双循环发展；二是实施创新驱动战略，大幅提升创新能力；三是推进数字化、智能化转型发展战略，搭建行业数字化、智能化平台；四是推进人才强企战略，提升企业管理水平；五是优化产业结构，提升产业链供应链现代化水平。今后半导体集成电路方面的自主研发及产业化将得到大力推动，未来将形成对国产化高纯含氟气体材料需求。随着我国自主可控战略下对半导体材料的政策支持，电子特气进口替代迎来发展机遇。 2022-2028年中国三氟化氮行业需求量预测 资料来源：智研咨询整理 以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《2022-2028年中国三氟化氮行业市场运行格局及发展策略分析报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。