敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2021年9月29日 公司研究 国产替代机遇打造刻蚀设备平台型龙头 ——中微公司（688012.SH）投资价值分析报告 买入（维持） 国内介质刻蚀设备和MOCVD设备双龙头，受益国产替代加速：中微公司成立于2004年,主要从事半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，主要产品包括刻蚀设备、MOCVD设备，公司2020年收入和净利润分别为22.7和4.9亿元，2017-2020年归母净利润CAGR高达154.07%。刻蚀设备方面，根据Gartner 数据，2020年全球干法刻蚀设备行业市场集中度较高，国际厂商占主导地位，CR3达到90.24%，中微公司全球市场份额为1.37%，为国内干法刻蚀设备龙头，目前刻蚀设备国产化进程加快，在国内新建产线中，刻蚀设备国产化率显著提高。根据亚化咨询数据，截至2020年12月16日，中微公司在长江存储、华虹六厂刻蚀设备招标项目中为国产第一大刻蚀设备供应商，占比分别为14%、19%。预计随着刻蚀设备国产替代进程加快，中微公司刻蚀设备市场占有率将进一步提升。我们预计中微21-23年刻蚀设备业务收入分别为19.65、27.03、36.93亿元，同比分别为52.41%、37.55%、36.60%。 传统LED MOCVD设备业务迎来拐点，Mini-LED MOCVD设备有望成为新的增长点：受下游照明市场需求下降影响，公司传统LED MOCVD设备业务收入有所下降，随着照明市场下游景气度提升，传统LED MOCVD设备业务有望回暖。同时，Mini/Micro LED市场潜力巨大，根据Arizton数据，预计2024年市场规模将达到23.2亿美元，2020-2024年CAGR达148.5%。公司21年6月正式发布用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备Prismo UniMax，目前该设备在客户端验证良好，有望成为公司MOCVD设备业务新的增长点。 外延式发展战略，助力公司长期可持续发展：公司重点布局了刻蚀设备、薄膜沉积设备和测量设备等领域以及其他泛半导体领域设备公司，完成了对拓荆科技（薄膜沉积设备）、中芯国际（Foundry）、睿励科学仪器（检测设备）、理想万里晖（PECVD设备）、中欣晶圆（晶圆片）、山东天岳（第三代半导体碳化硅材料）、昂坤视觉（光学测量和检测设备）、博日科技（生命科学仪器和试剂）、德龙激光（激光设备）等公司的投资，未来将继续在半导体设备和泛半导体设备领域布局。 盈利预测、估值与评级：我们维持中微公司2021-2023 年的营业收入分别为 31.96、43.16、58.38亿元，对应 PS 分别为30.6x、22.7x、16.8x；维持中微公司 2021-2023 年的归母净利润分别为6.77、7.63、10.59亿元，对应 PE 分别为 144x、128x、92x。考虑到国产化验证加速和晶圆厂不断扩张，我们维持“买入”评级。 风险提示：下游客户扩展不及预期、国产化进度不及预期风险、新产品推广不及预期。 公司盈利预测与估值简表 指标 2019 2020 2021E 2022E 2023E 营业收入（百万元） 1,947 2,273 3,196 4,316 5,838 营业收入增长率 18.77% 16.76% 40.59% 35.04% 35.26% 净利润（百万元） 189 492 677 763 1,059 净利润增长率 107.51% 161.02% 37.64% 12.63% 38.83% EPS（元） 0.35 0.92 1.10 1.24 1.72 ROE（归属母公司)（摊薄） 5.03% 11.27% 13.41% 13.12% 15.41% P/E 450 173 144 128 92 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2021-09-28 当前价：158.80元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 6.16 总市值(亿元)： 978.60 一年最低/最高(元)： 98.18/234.97 近3月换手率： 113.31% 股价相对走势 资料来源：Wind 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 -1.77 2.84 -9.28 绝对 -0.30 -4.16 -2.69 资料来源：Wind 相关研报 21H1中报点评：刻蚀设备收入增长超80%，MOCVD新设备获批量订单——中微公司（688012.SH）系列跟踪报告之一（2021-08-28） 国内半导体设备龙头，未来研发＋并购瞄准世界龙头——中微公司（688012.SH）新股定价报告（2019-07-19） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 中微公司（688012.SH） 投资聚焦 关键假设 1、刻蚀设备业务：刻蚀设备国产替代进程加快，公司CCP设备业务继续保持国内领先，ICP设备市场份额不断上升。在中美贸易摩擦升级导致国产化验证加速，以及晶圆厂不断扩张的背景下，刻蚀设备国产化率有望进一步提升。公司CCP刻蚀设备在国内具有领先优势，其开发的7nm-5nm刻蚀设备成功进入台积电先进制程工艺的供应链。同时，公司ICP刻蚀设备已经逐步趋于成熟，其推出的Primo nanova逐步取得客户的重复订单，在国产化加速和国内存储厂商扩产的情况下，其ICP市场份额将进一步得到提升。我们预测2021-2023年公司刻蚀设备业务营业收入分别为19.65、27.03、36.93亿元，同比增长分别为52.41%、37.55%、36.60%。 2、MOCVD设备业务：突破Mini/Micro LED等新兴领域，公司MOCVD设备继续保持领先优势。公司在全球氮化镓基 LED MOCVD 市场中占据领先地位，同时其研发的用于制造深紫外光LED的高温MOCVD设备以及Mini LED生产的MOCVD设备已在客户端生产验证并获得重复订单。随着照明市场下游景气度提升，公司传统LED MOCVD设备业务将回暖。同时，在国内厂商大力布局Mini /Micro LED以及紫外LED情况下，MOCVD设备需求进一步增长。公司是氮化镓基LED MOCVD设备龙头，将受益于MOCVD设备市场规模大幅提升。我们预测2021-2023年公司MOCVD设备营业收入分别为6.17、8.75、12.58亿元，同比增长分别为24.50%、41.64%、43.77%。 我们的创新之处 本报告详细分析了中微公司产品核心竞争力以及国产替代空间。同时，我们对公司未来的收入进行了详细地预测和拆分，包括刻蚀设备业务下的CCP设备和ICP设备以及传统LED MOCVD设备和Mini LED MOCVD设备未来增长情况。 股价上涨的催化因素 1、公司CCP和ICP刻蚀设备市占率不断提升。 2、公司Mini LED MOCVD设备在客户端验证良好并取得批量订单。 3、拓荆科技以及睿励科学仪器运营良好，相应设备国产化导入加速。 估值与评级 中微公司是国内介质刻蚀设备龙头厂商，其开发的7nm - 5nm刻蚀设备成功进入台积电先进制程工艺的供应链，表明其研发的介质刻蚀设备已经达到国际先进水平。同时，公司作为氮化镓基LED MOCVD设备龙头，与三安光电、华灿光电、乾照光电、璨扬光电等一流LED 外延片及芯片制造厂商保持密切合作关系，其新推出的Primo Unimax以及之后将推出的用于紫外光 LED等领域的MOCVD 设备都将有机会进入这些一流的LED外延片及芯片制造厂商，公司将受益于MOVCD设备市场增长。我们预计中微公司2021-2023 年营业收入分别为 31.96、43.16、58.38亿元，对应 PS 分别为30.6x、22.7x、16.8x；预计中微公司 2021-2023 年归母净利润分别为6.77、7.63、10.59亿元，对应 PE 分别为 144x、128x、92x。考虑到国产化验证加速和晶圆厂不断扩张，我们维持“买入”评级。 nMyQoQxPqPxPrMsPqQnPoO9PbPbRpNmMtRmNfQpPvMjMpNxO7NmNtOMYpMzRxNoMzR 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 中微公司（688012.SH） 目 录 1、 国内介质刻蚀设备和MOCVD设备双龙头 ......................................................................... 7 1.1、 公司业绩稳步增长，近三年归母净利润CAGR达154.07% ................................................................... 7 1.2、 大基金持股，助力公司快速发展 ............................................................................................................ 9 1.3、 公司重视研发，研发投入占营收比重20%以上 ................................................................................... 11 1.4、 创始团队及核心技术人员拥有国际半导体设备公司的从业经验........................................................... 13 2、 国产替代进程加速，公司刻蚀设备市占率有望进一步提升 ................................................ 15 2.1、 半导体设备市场规模屡创新高，中国大陆首次成为全球最大的半导体设备市场 ................................. 15 2.2、 刻蚀设备是晶圆制造三大主设备之一，价值量不断上升 ..................................................................... 18 2.3、 政策和需求双轮驱动，刻蚀设备国产替代进程加快 ............................................................................. 20 2.4、 CCP刻蚀设备在国内继续保持优势，ICP刻蚀设备份额逐渐增长 ....................................................... 24 3、 公司是氮化镓基LED MOCVD设备龙头 ............................................................................ 27 3.1、 MOCVD设备是LED芯片制造中的核心设备 ........................................................................................ 27 3.2、 下游企业大规模布局Mini/Micro LED， 释放新一轮需求 ................................................................... 28 3.3、 推出新一代Primo Un