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至纯科技发布半年度业绩报告,实现营业收入9.20亿元,同比增长76.51%;实现归属于上市公司股东的净利润1.50亿元,同比增长395.51%。公司湿法设备发展迅速,再生晶圆前景可期,高纯工艺系统持续扩展,为新兴业务导流作用明显。公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术,目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线;14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。