全球薄膜沉积设备市场规模在2017-2020年间年复合增长率为11.2%，2020年市场规模约为172亿美元。PECVD是市场份额最高的设备类型，占整体市场的33%；ALD设备目前占据薄膜沉积设备市场的11%；SACVD是新兴的设备类型，占比较小。薄膜沉积设备行业呈现出高度垄断的竞争局面，行业基本由应用材料（AMAT）、ASM、泛林半导体（Lam）、东京电子（TEL）等国际巨头垄断。
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