中微公司是一家专注于半导体设备国产替代的公司,成立于2004年,创始团队均为国际半导体设备龙头企业的核心技术人员。公司已成功研制CCP刻蚀机、MOCVD设备和ICP设备,产品线不断拓宽,已成为国际领先的供应商。近年来,公司业绩稳健增长,半导体业务占比亦持续提高。2020年,公司定增落地,国家大基金二期参与认购,加码研发128层以上CCP刻蚀、大马士革刻蚀、7nm以下ICP、3nm以下ALE等项目。中微作为国内刻蚀设备龙头,截止2020年,CCP设备装机量达1159台,保持了30%的年均增速,而ICP设备亦已有55个反应腔运行于10位客户的产线。技术自主可控和先进制程能力是公司得以实现国产替代的核心优势,CCP设备已切入台积电5nm产线,技术达到世界领先水平。逻辑芯片的大马士革刻蚀、128层以上3D NAND刻蚀、用于GAA结构的ALE刻蚀等产品也已处于研发中。中微公司是化合物半导体设备的龙头,其MOCVD设备在全球市场占据70%以上的市场份额,用于miniLED、功率半导体和射频等应用。随着化合物半导体市场的快速发展,中微公司的业务空间将得到进一步打开。