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本报告研究了薄膜生长设备的市场现状和国产突破的可能性。薄膜生长是将物质附着于衬底材料表面的过程，常见物质包括金属、氧化物、氮化物等。根据工作原理不同，薄膜沉积生长设备可分为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积（CVD）和外延等类别。2020年全球薄膜设备市场达到138亿美元，占IC制造设备21%；其中主要是CVD和PVD，合计占IC制造设备18%。CVD市场规模高度89亿美元，主流是设备包括PECVD、Tube CVD、LPCVD和ALD等。国内布局IC制造领域薄膜设备的主要国产厂商包括北方华创和沈阳拓荆。国内薄膜厂商加速导入，国产化率仍有较大提升空间。
