半导体设备行业跟踪：微导纳米发布第一代iTronix系列CVD设备，半导体薄膜沉积领域再获突破

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2023年6月29日 行业研究 微导纳米发布第一代iTronix®系列CVD设备，半导体薄膜沉积领域再获突破 ——半导体设备行业跟踪 机械行业 事件：6月29日，微导纳米于SEMICON China 2023正式发布公司自主研发的第一代iTronix®系列CVD薄膜沉积设备。目前，微导纳米的iTronix ®系列CVD薄膜沉积设备已获得客户订单，设备验证进展顺利。 iTronix® PE系列等离子体增强化学气相沉积镀膜系统（PECVD）：可沉积相应不同种类薄膜，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域的芯片制造。同时，该新型平台可安装更多反应腔以满足高产能需求。 iTronix® LP系列低压化学气相沉积镀膜系统（LPCVD）：采用特别设计的反应腔室和电气软件集成化服务，在逻辑芯片、DRAM芯片、NAND芯片等领域具有广泛应用，可满足SiGe、p-Si、doped a-Si、SiO2、SiN等薄膜沉积工艺的开发与应用需求。 点评：iTronix系列CVD系统系公司基于客户关键工艺开发的战略需求而开发的新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料。产品可用于芯片制造钝化层、扩散阻挡层、介电层、硬掩膜层与高级图案化层、电容覆盖层等应用领域。 CVD设备市场空间较ALD广阔，国产化率较低。PECVD、LPCVD等CVD设备可以适应不同工艺节点对膜质量、厚度以及孔隙沟槽填充能力等的不同要求，因此相关设备覆盖的工艺范围广，应用场景也较多，市场空间广阔。据SEMI行业统计，半导体薄膜沉积设备市场规模中ALD占比为11%，CVD占比约57%。目前CVD设备国产化率仍处于非常低的水平，国产设备验证进度加快，国产化产线规划建设将为国产CVD设备带来广阔的成长空间。公司本次发布的iTronix®系列CVD薄膜沉积设备有望打开产品所面向的市场规模天花板。 CVD赛道参与者逐渐增多，微导纳米有望凭借差异化竞争策略成功导入客户端。 拓荆科技以PECVD为核心产品，量产设备为PF-300T、PF-300T eX机台，多种不同工艺指标的先进薄膜材料（包括LoKI、ACHM、ADCI、HTN等）和设备均通过客户验证，进入量产产线，并在PECVD（PF-300T）基础上，推出了PECVD（NF-300H）型号设备，可以沉积Thick TEOS等介质材料薄膜。 北方华创CVD设备以LPCVD为主，可适用于二氧化硅（LTO、TEOS）、氮化硅（Si3N4（含低应力））、多晶硅（LP-POLY）、磷硅玻璃（BSG）、硼磷硅玻璃(BPSG)、掺杂多晶硅、石墨烯、碳纳米管等多种薄膜。 盛美上海2022年底推出Ultra PmaxTM PECVD设备，该设备配置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计，能够提供更好的薄膜均匀性，更小的薄膜应力和更少的颗粒特性。 微导纳米的iTronix®系列CVD薄膜沉积设备是基于客户关键工艺需求所开发的，以CVD的硬掩膜工艺为介入点，实施差异化战略，并依托产业化应用中心强大的前瞻工艺开发能力、国际化研发团队与半导体设备设计能力，我们认为未来公司有望在半导体CVD领域取得一定的市场份额。 投资建议：CVD设备应用工艺环节多元，市场空间广阔，目前CVD设备国产化率水平仍较低，建议关注发布了PECVD、LPCVD系列新品并获得客户订单的微导纳米。 风险分析：半导体行业扩产不及预期；新产品验证不及预期；中美贸易摩擦加剧。 买入（维持） 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 yangshaohui1@ebscn.com 联系人：林映吟 021-52523418 linyingyin@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 -30%-10%10%30%22/0622/0922/1223/03机械行业沪深300 资料来源：Wind 相关研报 半导体制造技术进步，原子层沉积（ALD）技术是关键——半导体设备行业跟踪报告（2023-02-06） 微导纳米PE-Poly设备成功规模导入头部光伏电池企业——光伏设备行业动态跟踪报告（2023-01-19） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 行业及公司评级体系 评级 说明 行 业 及 公 司 评 级 买入 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数15%以上 增持 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数5%至15%； 中性 未来6-12个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5%至5%； 减持 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数5%至15%； 卖出 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数15%以上； 无评级 因无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件，或者其他原因，致使无法给出明确的投资评级。 基准指数说明： A股市场基准为沪深300指数；香港市场基准为恒生指数；美国市场基准为纳斯达克综合指数或标普500指数。 分析、估值方法的局限性说明 本报告所包含的分析基于各种假设，不同假设可能导致分析结果出现重大不同。本报告采用的各种估值方法及模型均有其局限性，估值结果不保证所涉及证券能够在该价格交易。 分析师声明 本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度、专业审慎的研究方法，使用合法合规的信息，独立、客观地出具本报告，并对本报告的内容和观点负责。负责准备以及撰写本报告的所有研究人员在此保证，本研究报告中任何关于发行商或证券所发表的观点均如实反映研究人员的个人观点。研究人员获取报酬的评判因素包括研究的质量和准确性、客户反馈、竞争性因素以及光大证券股份有限公司的整体收益。所有研究人员保证他们报酬的任何一部分不曾与，不与，也将不会与本报告中具体的推荐意见或观点有直接或间接的联系。 法律主体声明 本报告由光大证券股份有限公司制作，光大证券股份有限公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格，负责本报告在中华人民共和国境内（仅为本报告目的，不包括港澳台）的分销。本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格编号已披露在报告首页。 中国光大证券国际有限公司和Everbright Securities(UK) Company Limited是光大证券股份有限公司的关联机构。 特别声明 光大证券股份有限公司（以下简称“本公司”）成立于1996年，是中国证监会批准的首批三家创新试点证券公司之一，也是世界500强企业——中国光大集团股份公司的核心金融服务平台之一。根据中国证监会核发的经营证券期货业务许可，本公司的经营范围包括证券投资咨询业务。 本公司经营范围：证券经纪；证券投资咨询；与证券交易、证券投资活动有关的财务顾问；证券承销与保荐；证券自营；为期货公司提供中间介绍业务；证券投资基金代销；融资融券业务；中国证监会批准的其他业务。此外，本公司还通过全资或控股子公司开展资产管理、直接投资、期货、基金管理以及香港证券业务。 本报告由光大证券股份有限公司研究所（以下简称“光大证券研究所”）编写，以合法获得的我们相信为可靠、准确、完整的信息为基础，但不保证我们所获得的原始信息以及报告所载信息之准确性和完整性。光大证券研究所可能将不时补充、修订或更新有关信息，但不保证及时发布该等更新。 本报告中的资料、意见、预测均反映报告初次发布时光大证券研究所的判断，可能需随时进行调整且不予通知。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议。客户应自主作出投资决策并自行承担投资风险。本报告中的信息或所表述的意见并未考虑到个别投资者的具体投资目的、财务状况以及特定需求。投资者应当充分考虑自身特定状况，并完整理解和使用本报告内容，不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。对依据或者使用本报告所造成的一切后果，本公司及作者均不承担任何法律责任。 不同时期，本公司可能会撰写并发布与本报告所载信息、建议及预测不一致的报告。本公司的销售人员、交易人员和其他专业人员可能会向客户提供与本报告中观点不同的口头或书面评论或交易策略。本公司的资产管理子公司、自营部门以及其他投资业务板块可能会独立做出与本报告的意见或建议不相一致的投资决策。本公司提醒投资者注意并理解投资证券及投资产品存在的风险，在做出投资决策前，建议投资者务必向专业人士咨询并谨慎抉择。 在法律允许的情况下，本公司及其附属机构可能持有报告中提及的公司所发行证券的头寸并进行交易，也可能为这些公司提供或正在争取提供投资银行、财务顾问或金融产品等相关服务。投资者应当充分考虑本公司及本公司附属机构就报告内容可能存在的利益冲突，勿将本报告作为投资决策的唯一信赖依据。 本报告根据中华人民共和国法律在中华人民共和国境内分发，仅向特定客户传送。本报告的版权仅归本公司所有，未经书面许可，任何机构和个人不得以任何形式、任何目的进行翻版、复制、转载、刊登、发表、篡改或引用。如因侵权行为给本公司造成任何直接或间接的损失，本公司保留追究一切法律责任的权利。所有本报告中使用的商标、服务标记及标记均为本公司的商标、服务标记及标记。 光大证券股份有限公司版权所有。保留一切权利。 光大证券研究所 上海 北京 深圳 静安区南京西路1266号 恒隆广场1期办公楼48层 西城区武定侯街2号 泰康国际大厦7层 福田区深南大道6011号 NEO绿景纪元大厦A座17楼 光大证券股份有限公司关联机构 香港 英国 中国光大证券国际有限公司 香港铜锣湾希慎道33号利园一期28楼 Everbright Securities(UK) Company Limited 6th Floor, 9 Appold Street, London, United Kingdom, EC2A 2AP