首席证券分析师：周尔双执业证书编号：S0600515090001zhoues@dwzq.com.cn证券分析师：朱贝贝执业证书编号：S0600520090001zhubb@dwzq.com.cn2021年5月9日半导体设备年报一季报总结2020业绩高增，晶圆厂新一轮扩产周期利好设备商证券研究报告·行业年度总结 2核心观点2020/2021Q1半导体设备行业整体业绩正向高速增长。在半导体设备板块，我们选取的标的主要有【北方华创】、【中微公司】、【华峰测控】、【华兴源创】、【至纯科技】、【芯源微】、【长川科技】、【万业企业】。【精测电子】，【晶盛机电】仅部分业务属于半导体设备行业，故未加入标的公司。①2020年在疫情背景下，半导体设备行业仍实现业绩高增长。行业营收合计139亿元，同比+26%，归母净利润合计22亿元，同比+47%。行业平均毛利率49%，平均净利率16%。在2020Q1延续高增长态势，实现营收同比+61%，归母净利润同比+273%，毛/净利率分别为57%/17%。②预收+存货显示在手订单充裕，产能扩张保证中短期业绩。2020年，半导体设备行业预收账款及存货合计分别为43/87亿元，同比+70%/24%，2021年一季度升至55/104亿元，同比+58%/39%。国产设备厂商加速扩产，半导体设备行业保持高景气增长。③2020年半导体设备行业经营性现金流显著改善，2020年为28.9亿元，同比+430%，其中20年四季度净额达到21.53亿元，主要系营运能力大幅提升。2020年行业存货周转天数401天，同比-83天，应收账款周转天数95天，同比+6天。半导体设备行业是黄金成长赛道，受益于终端需求持续上升。我们对行业做出以下预判：①半导体行业处上升周期，设备厂商将持续受益。2020年中国大陆半导体销售额累计为1508亿美元，同比+5.2%。半导体设备销售额为187.3亿美元，同比+39.3%，超越中国台湾，成为全球最大市场。2021年行业将维持高增长，国产设备商将充分受益于逻辑厂与存储器厂积极扩产，以及制裁升级下国产化率提升。②晶圆厂资本开支持续扩张，带动设备需求上升：2020年，台积电/中芯国际资本开支分别为172.4/57.3亿美元，同比+84%/+204%，2021年台积电宣布资本支出升至250亿～280亿美元，下游需求将推动晶圆厂资本开支持续扩张，对设备需求将显著提升。③市场需求大+核心工艺遭封锁使国产化成必然选择。各关键设备的国产化水平差异明显，总体来看，氧化设备实现50%以上的国产化率；而薄膜沉积、测试设备国产化水平较低，分别为3%和4%，国产化率上升空间大。投资建议：重点推荐【中微公司】进入全球供应链的国产刻蚀设备龙头；【北方华创】多业务布局的晶圆设备龙头；重点推荐【至纯科技】国内清洗设备龙头，2020全年槽式设备+单片设备出货30台，目前处于产能扩张阶段；重点推荐【华峰测控】半导体测试设备龙头；【华兴源创】半导体测试设备新进入者。风险提示：晶圆厂投产不及预期，设备及材料国产化进程不及预期。数据来源：Wind，东吴证券研究所 oPtMpQmQmQwPvNtOqNqPyR6MaObRoMpPoMpOfQqQnQfQrQmM6MnNyQNZsOmNvPrNsM3半导体设备行业2020年业绩高增长半导体设备板块相关公司业绩概览2020年在疫情背景下，半导体设备行业仍实现业绩高增长，行业营收合计139亿元，同比+26%，归母净利润合计22亿元，同比+47%。行业平均毛利率49%，平均净利率16%。在2021Q1延续高增长态势，实现营收同比+61%，归母净利润同比+273%，盈利保持稳定，毛/净利率分别为57%/17%。证券代码公司名称营收（亿元）营收同比（%）归母净利润（亿元）归母净利润同比（%）毛利率（%）净利率（%）营收（亿元）营收同比（%）归母净利润（亿元）归母净利润同比（%）毛利率（%）净利率（%）002371.SZ北方华创60.649.235.473.7536.6910.4214.251.760.7175.2739.525.83688012.SH中微公司22.716.764.9161.0237.6721.666.046.241.4425.3640.9222.83688200.SH华峰测控4.056.112.095.3179.7550.111.235.610.3-25.1680.7323.15688001.SH华兴源创16.833.372.750.2548.0515.802.864.480.3175.8253.339.98603690.SH至纯科技14.041.632.6136.3636.7918.662.3104.130.7605.2841.5531.23677037.SH芯源微3.354.300.5610.9942.5814.851.11,229.720.1182.6535.895.74300604.SZ长川科技8.0101.540.8-44.9650.1110.562.9160.410.4895.6453.9715.06600641.SH万业企业9.3-50.163.246.8445.3133.854.230.892.0155.1056.2347.59行业合计13926224749162761627357172020年2021Q1半导体设备数据来源：Wind，东吴证券研究所 行业收入规模逐年扩大，2020年疫情背景下收入仍高增长2020年疫情背景下，除万业企业，半导体设备行业所选取标的均实现收入正增长收入端：在疫情背景下，半导体设备行业2020年收入维持高增长数据来源：Wind，东吴证券研究所42020年，半导体设备行业标的公司营收合计139亿元，同比+26%。其中，除万业企业外，标的公司均实现收入正增长，北方华创、中微公司、华峰测控、华兴源创、至纯科技、芯源微、长川科技以及万业企业营收同比+49%/+17%/+56%/+33%/+42%/54%/102%/-50%。行业营收高速增长主要系：（1）下游景气度上升，拉动设备需求提升：5G+汽车电子+物联网下游终端景气度提升，芯片产能紧缺，晶圆厂资本开始加速。2020年，台积电/中芯国际资本开支分别为172.4/57.3亿美元，同比+84%/+204%，均创历史新高。（2）贸易战+技术封锁，进口替代加速：由于中美贸易战以及半导体技术封锁，国产晶圆厂加大扶持本土设备公司力度，国产设备验证周期缩短，国产化进程加快。2021Q1，标的公司营收合计35亿元，同比+61%，归母净利润6亿元，同比+273%，维持高速增长。751001101393515%32%10%26%61%0%10%20%30%40%50%60%70%02040608010012014016020172018201920202021Q1行业收入合计（亿元）YOY-200%0%200%400%600%800%1000%1200%1400%北方华创中微公司华峰测控华兴源创至纯科技芯源微长川科技万业企业20172018201920202021Q1 2020年半导体设备板块预收账款合计43亿元，同比+70%，2021Q1进一步增至55亿元，同比+58%2020年半导体设备板块存货合计87亿元，同比+24%；2021Q1存货合计104亿元，同比+39%收入端：预收+存货显示在手订单充裕，产能扩张保证中短期业绩数据来源：Wind，东吴证券研究所5在手订单充裕：2020年，标的公司总预收账款及存货分别为43/87亿元，同比+70%/24%，2021年一季度升至55/104亿元，同比+58%/39%，预收款及存货的显著增长验证在手订单充裕。产能持续扩张，伴随订单释放，保证中短期业绩增长。北方华创：2021年4月，公司定增募资85 亿元，用于半导体装备、高精密电子元器件扩产项目。中微公司：2021年3月，公司定增募资100亿元，用以扩充集成电路设备及泛半导体设备产品线产能。至纯科技：2020年启东基地投入使用。合肥再生项目基地年底进入调试阶段，建成后将形成年产168 万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生产能。华峰测控：募投项目天津生产和研发基地将于2021 年上半年投入使用，届时产能有望超过200 台/月。353625435528%1%-28%70%58%-40%-20%0%20%40%60%80%010203040506020172018201920202021Q1总预收账款（亿）YOY566571871041%17%9%24%39%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%02040608010012020172018201920202021Q1总存货（亿）YOY 利润端：半导体设备行业2020年归母净利润同比+47%数据来源：Wind，东吴证券研究所2020年，半导体设备行业归母净利润实现47%正增长，2021Q1同比增长接近273%2020年疫情影响下，除万业企业，半导体设备行业所选取标的均实现归母净利润较高速正增长6盈利能力保持稳定，2021Q1毛利率升至57%整体期间费用率控制良好22.4317.3015.0022.035.89153%-23%-13%47%273%-100%-50%0%50%100%150%200%250%300%051015202520172018201920202021Q1行业归母净利润合计（亿元）YOY-200%0%200%400%600%800%1000%北方华创中微公司华峰测控华兴源创至纯科技芯源微长川科技万业企业20172018201920202021Q160%59%54%49%57%30%17%14%16%17%0%10%20%30%40%50%60%70%20172018201920202021Q1行业毛利率行业净利率5%5%5%6%7%19%17%21%23%24%0%-1%1%0%0%-5%0%5%10%15%20%25%30%20172018201920202021Q1行业销售费用率行业管理费用率（含研发）行业财务费用率 流动性水平：现金流量净额大幅改善，营运指标良好数据来源：Wind，东吴证券研究所72020年半导体设备行业经营性现金流显著改善，2020年为28.9亿元，同比+430%，其中20年四季度净额达到21.53亿元，主要系营运能力大幅提升。2020年行业存货周转天数401天，同比-83天，应收账款周转天数95天，同比+6天。存货周转天数大幅下降应收账款周转保持稳定2020年Q4板块经营性现金流显著改善-0.98-1.670.7011.80-4.83-3.93-4.234.217.150.83-0.5721.533.33-10-505101520252018Q12018Q22018Q32018Q42019Q12019Q22019Q32019Q42020Q12020Q22020Q32020Q42021Q1经营性现金流净额（亿）6645334844012002503003504004505005506006507002017201820192020行业存货周转天数行业存货周转天数817989957080901002017201820192020行业应收账款周转天数行业应收账款周转天数 研发投入维持高位，进口替代逻辑逐步兑现数据来源：Wind，东吴证券研究所82020年标的公司研发费用合计16.9亿元，同比+42%，研发费用率12%，+1.4pct。国内半导体设备龙头在产品研发及验证上均有所突破，其中：北方华创：首次中标CuBSPVD设备，打破了AMAT的垄断地位。中微公司：推出具有高输出率特点的双反应台ICP刻蚀设备以及用于制造深紫外光LED的MOCVD设备，均已完成客户验证。华峰测控：GaN、SiC等第三代半导体检测设备通过客户认证，台积电2020年10月首次直接向公司采购GaN测试设备。华兴源创：SOC芯片检测设备已成功通过重要客户验证，开始取得批量量