材料端,参股公司启辰半导体正在推进KrF光刻胶单体、树脂等研发,联合化学此前也已完成高纯度合成工艺研发,目前苯乙烯类光刻胶单体一期产线处于建设阶段,设备端,联合化学参股米莱芯程37.276%,其子公司芯颐和已于6月30日向国内头部光刻机厂商交付首套i-line曝光光学系统,产品用于前道光刻设备整机集成。Kline和Iline样机交付年底。公司融资和股东背景豪华,产业资本重注。米莱芯程创始人高博士asml工作履历,承担02专项中28nm节点浸没式光刻机产品研发项目,担任产品技术总工,主导系统设计、测试及集成技术工作;同时成功完成KrF与iline光刻机集成调试工作联合化学从光刻胶材料到光刻机核心