茂莱光学半导体光刻机业务交流转债项目规模5625亿绝大部分在项

元器件和模组，IPO募集资金全部投向国产光刻机，解决i线物镜镜片，接下来要解决i线以上的DUV制程，现在国家把DUV产业化提到正式高度，目前处在中试和中试以后的状态，规模和02专项比（光学100亿），主要要突破的是测量镀膜和机加工，大部分是围绕三大能力去构建，用3+5年，3年建设+5年爬坡， 茂莱光学半导体&光刻机业务交流：转债项目：规模5.625亿，绝大部分在项目上，分为生产和研发，募投项目就是DUV，整个募投项目围绕量产DUV 元器件和模组，IPO募集资金全部投向国产光刻机，解决i线物镜镜片，接下来要解决i线以上的DUV制程，现在国家把DUV产业化提到正式高度，目前处在中试和中试以后的状态，规模和02专项比（光学100亿），主要要突破的是测量镀膜和机加工，大部分是围绕三大能力去构建，用3+5年，3年建设+5年爬坡，当年ASML做DUV从立项到产出成品用了12年时间。 DUV是很宽泛的概念，光刻领域只包括248nm的k线（KrF），193nm的氟化氩（ArF）。 28nm已有2台样机可以用，248nmK线难度接近已经在量产的量检测设备技术难度，有些专项需要去攻克，会配合下游一起去做，193nm会更难，也跟莱宝定了193的镀膜机，镀膜在这里面第二重要，第一重要的是测量问题，向高制程去爬最重要的就是测量能力，是线性的。 半导体：占55%-59%，其中光刻和量检测3.8：6.2，第一大客户是量检测公司，CAMTEK，占总收入10%，最近到13%-14%，后道AOI量检测；第二大是康宁，海外光刻机客户，所有给海外大厂应材LAM的器件都是康宁间接供，他们通过上游材料垄断来做下游元器件垄断，国际地位上避不开。 前五大里还有上海微、中芯国际等，上海微去年3700-3800万，今年能确认5000万以上，去年光刻总体量9000万多，小一个亿，光刻机中光学系统（光源之下的扩束、整形、明化、曝光系统、量检测对准对齐系统）的价值量占比80%，制程越高端（如从I线到DUV），曝光物镜的价值占比越高。 在成套供应曝光镜片组领域，公司是国内唯一商业化量产的公司。 光刻机：公司做的是曝光物镜的镜片组，占曝光物镜价值量的一半。 也在尝试给其他国内军工单位和国外光刻机公司做整机镜头，以前只供镜片，也想往高集成度方向去供应。 明年比较重要，去年完成i线量产（后道封装），今年交付上海微前道用于逻辑、功率，i线从产品层面是到头了，后面会在镜片层面往DUV发展，集成度上2026年初开始会向下游各客户交付i线光刻机曝光物镜的整机模组，价值量会翻一倍左右。 明年增长点：国内量检测公司需求量都非常大，今年3-4月对典型量检测客户的交付量已超过去年全年下游激烈竞争对上游供货有利，去年开始跟飞测（被制裁后）同时开启很多管线研发，陆续有一些量产管线，主要收入来自海外，海外光刻机和量检测巨头也在合作。 ASML公司供曝光物镜，蔡司的镜头能力太强了，当时他们很害怕蔡司单成立光刻机公司，产业链转移是从欧美往东亚转。 上海微目前i线量产，公司独供，供上海微的DUV镜片目前正在追求全套量产。 公司向上海微的i线交付一直在持续，去年交付40套，今年上半年累计交付100来套。 02专项光刻机（宇量昇的浸没式）是长光所的镜片（正攻克量产），国旺装的镜头。 DUV项目：跟任何一家光刻机都合作，上海微、宇量晟、芯上微装，宇量晟样机下台了，但是02专项交付的时候团队没从上海微出来，所以在上海微体系交付的。 宇量晟专注浸没式，上海微i线以上，浸没式以下，最近还成立了EUV部门。 EUV项目：有规划。 量检测：比光刻更大，光刻已有的i线替换和之后新增，天花板不是很高，现在做的266的价值量不低于光刻i线。 国内量检测客户南京有一家，北京昂坤，飞测。 交付情况：提供产品装配和验证存在一定周期，因此营收不会立刻反映出货情况。 公司向上海微的交付一直在持续：去年交付40套，今年上半年累计交付100来套。