至纯科技机构调研纪要

上海至纯洁净系统科技股份有限公司是一家科技控股企业,旗下电子领域专业企业致力于为集成电路及泛半导体产业客户提供制程设备、高纯工艺系统和相关电子材料及专业服务;旗下生物领域企业致力于为生物制药、合成生物等产业提供生物反应、发酵系统、配液系统等核心装备。至纯科技成立于2000年,总部和研发中心位于上海市闵行区紫竹国家高新区,生产制造中心在启东和平湖,服务中心在合肥,并在日本、韩国、台湾均设有研发设计子公司,布局上充分利用了长三角地区各地优势互补,并在研发端能利用全球的优势人才资源。至纯科技拥有上海市市级企业技术中心,下设联合实验室,同时公司旗下设有2个院士专家工作站(半导体领域和光电子领域)。至纯科技积极跟动客户的工艺需求和创新,建立了自主研发的科研创新体系。至纯科技一贯注重研发投入,截止到2022年10月,至纯集团已申请专利595项(其中发明专利280项),授权396项(其中发明专利110项),软著150项;注册商标153项。注:所有申请专利不含已过保护期限专利。公司的经营战略确立为“关注核心工艺,服务关键制程”,“立志成为国内领先的半导体工艺装备材料提供商”,并代表本土品牌参与国际竞争。我们对标国际顶尖企业,追求“至臻至纯”,我们为客户创造价值,坚持可持续发展理念;我们承担共同的社会责任,为用户提供高度专业化的产品和服务,在高度专业化和持续研发创新方面一路践行,立志成为专业、诚信和卓越的典范。 华泰宝兴峰境基金外贸信托万向创投博衍基金世嘉控股国泰基金上海国有资产经营有限公司上海国鑫投资发展有限公司 承风金萍私募上海标朴投资财通基金鑫巢资本榕湖投资苏银理财开思基金浙商资管易知投资 百年人寿宁波盛世知己投资上海保银深圳君茂投资华夏基金苏州龙远投资上海联创永沂投资江苏乾融中信证券 中金证券申银万国国泰海通瑞银证券摩根大通国投证券信诚基金浙商证券方正证券 东海证券东方证券华金证券上海证券中信建投证券国金证券华安证券国信证券华宝基金 华福证券国盛证券华鑫证券国联证券中航证券东兴证券西部利得基金招银理财广发资管 睿亿投资 一、公司2024年度及2025年一季度业绩情况介绍公司2024年度实现收入36.05亿元,同比增长了14.4%;归母净利润约2,360万元,同比下降较多。2025年一季度实现收入7.28亿元,净利润1,902万元。近年来公司经营性现金流一直是流出状态,2023年度流出约8亿元,2024年度流出约4.6亿元,2025年一季度流出约6,200万,公司一直在加强对现金流的管理,已取得初步成效。二、交流的主要问题及回复概要1、请公司高纯工艺业务发展如何,目前市占率多少?答:公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固,公司系统集成及支持设备已经能够实现ppb(十亿分之一)级的不纯物控制,核心技术强于国内竞争者,在用户应用需求牵引下开发的个别功能超越国际品牌。公司已经成为国内高纯工艺系统支持设备供应商,自主品牌SAFETRON？目前业务量接近系统集成业务总量的40%,至今已经出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备超过3.6万台,其中2024年出货超过1万台,有效替代并改变了原先由境外公司垄断的供给格局。 据公司统计,2016-2024年中国大陆主流12寸晶圆厂41次特气中标结果中,公司气体设备及系统的市占率是48.8%,化学品设备及系统的市占率超过30%。在为诸多一线12寸晶圆厂服务的过程中,公司积累了大量的技术和经验,并结合自身模块化+数字化的优势,推出了场景化解决方案,为用户在COC及COO的优势上作出贡献,这将进一步巩固公司在高纯领域的领先地位。2、公司湿法设备业务有何进展?未来发展趋势如何?答:2024年公司对设备进行技术升级,优化改造,公司旗下至微科技发布了S300-D湿法设备新平台,该平台专为先进制程需求设计,覆盖SPM、BACKSIDE ETCH(背面蚀刻)、Pre clean(预清洗)、BEVEL(斜边处理)等关键工艺,其WPH(每小时处理晶圆的数量)提升30%,新平台显著提升了生产效率,并在腔体的缩小和流场的控制方面有了进一步提升以满足更苛刻的工艺需求。公司于2022年正式推出的高温硫酸SPM设备,成为国产首台应用于大规模量产线的12英寸硫酸清洗机,月产能最高可达6万片次,截至2024年末单机累计产量超过70万片次,是高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。未来公司将聚焦先进制程的产品与服务,把握好目前先进制程湿法工艺验证领先的优势,希望在下游集成电路客户先进制程有重大进展时抓 住机遇,提升公司半导体设备业务比重。3、公司湿法设备能替代国外进口的设备吗?答:公司湿法设备用户已经覆盖大部分核心客户并为其配套关键工艺节点的湿法工艺设备。在28纳米率先实现前中后段全工艺覆盖,在更先进制程节点正陆续替代国外厂商。公司不仅实现了工艺机台的全自主IP,还实现了核心模组到元器件层的本土供应链培育和建设。4、公司研发投入近几年来一直在增长,2024年达到了4.42亿,请问公司在哪些方面进行了研发?答:公司的研发投入从2017年的0.13亿元跃升至2024年的4.42亿元。过去五年累计研发投入超过15亿元。公司上市初期,公司研发集中在高纯设备品类拓展的研发,以及湿法设备的槽式机台;从2019年以来集团投入研发费用最大的是湿法单片设备,覆盖前中后段全部湿法工艺。高纯设备的高性能及全品类使公司在高纯领域成为头部企业,以特气为例,2016年以前该领域12寸晶圆厂100%由四家外企和一家台湾地区企业垄断,2016年至2024年间中国大陆的41个重要大项目近半数由公司得标,占比48.8%。而四家外企和一家台企 总共占比已经只有36%。公司完成了该类设备及系统的全面国产替代,服务了产业高速发展。在集成电路卡脖子的湿法设备产品上,公司自2020年来,持续加大研发投入,主要用于国内更先进制程节点。难点设备的研发需要更久的时间更大的投入,目前产品已经取得了阶段性的突破,正在客户端进行湿法设备的验证,同时获得了国内极少数更先进制程节点用户的十数台设备,均已陆续完成研发并交付中。前期的研发投入及验证支撑公司每年新签订单的增长,专利数量从上市前的50余项增长至2024年末的845项,且近半数为发明专利。截至2024年末,公司累计申请专利845件(其中发明专利350件),已授权专利577件(其中发明专利182件),软件著作权185件,注册商标152件。5、请问公司湿法设备零部件中,自产自用的比例大概在多少?答:公司自2020年8月起即启动去美方案,2021年开始持续进行在地化供应链建设,保证供应链稳定,基本实现自主可控,通过订单牵引、合作开发等一系列举措培养本土供应链的阶段目标已陆续达成。目前尚有部分分析、侦测类部件还在持续验证中,公司也很早就有 充足的备货并实施仪表类涉美替代方案。以公司S300D产品为例,整个设备涉及上万个部件,按部件数量统计目前已经做到70%-80%在地化。7、电子材料业务2024年盈利情况如何?答:公司大宗气站的新业务拓展进程顺利。由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的12英寸晶圆对应28纳米的大宗气体供应工厂指标完全达标,为用户提供至少15年的高纯大宗气体供应,从2022年初至今持续稳定运行,成功打破了半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局,实现了该制程节点国内自主大宗气站零的突破。目前公司第二座大宗气站于2024年上半年已开始为客户提供供气服务。2024年度,公司电子材料营业收入1.64亿元,同比增长165.09%。随着客户的产能爬升,大宗气站将为公司贡献稳定可观的营收。8、公司之后的盈利有什么增长点?答:您好,公司一直专注在半导体领域围绕“工艺-设备-材料”三位一体发展,目前湿法工艺机台开发响应先进制程节点需求,持续跟动 国内头部集成电路客户进行更先进制程的研发,成为国内领先的核心工艺设备及系统专业供应商。公司始终关注产业下游核心企业稳定运营阶段的商业机会,布局黏度更高的电子材料、专有服务等业务板块,并初见成效。9、收购威顿晶磷目前进展如何?答:本次收购威顿事项涉及资产的审计、评估、尽职调查等工作正在稳步推进当中,公司持续推进本次交易的相关工作并将在相关工作完成后,再次召开董事会会议审议本次交易的相关事项并公告。10、当前供应链备货和技术替代方案能否支撑长期业务连续性?是否有进一步多元化布局的计划?答:公司2020年8月起启动设备全面去A并于2021年中达成,可以供应被无端制裁企业。公司2021年中开始持续进行在地化供应链建设,保证供应链稳定,以实现自主可控。公司通过订单牵引、合作开发、战略投资等一系列举措培养本土供应链的阶段目标已陆续达成并能支持公司业务持续发展。公司认为国家集成电路制造产业尤其是设备材料领域正从量变到质变,目前行业已进入精细化发展阶段,结构性的机遇和挑战符合公司战略 研讨时的预判。过去数年产业经历了高度关注并带来持续的资源流入,可谓水大鱼大,成就了一批企业的成长;而接下来行业的攻坚阶段,关注度和资源流入均平缓,恰是到了水落石出的时候,有愿力有能力和扎实前行的企业才能真正强大。公司始终根据下游行业的发展变化去假设产业终局,在战略布局中高度关注行业周期,始终以抓住集成电路产业大力发展的机遇为重,业务重心围绕覆盖用户资本性开支和运营阶段开支相关的不同生命周期产品线展开。所以公司战略中特别重投入半导体设备领域以获得极难得的战略机遇,而长期上公司又始终关注产业下游核心企业稳定运营阶段的商业机会,布局粘度更高、周期更长的电子材料、专有服务等业务板块且初见成效。11、请问贵司采取了哪些举措来降低财务费用、改善经营性现金流?答:公司近年来财务费用增长主要缘于经营需要所需的资金投入;公司通过预算管控、加强应收账款回款、节约各类成本等方法降低财务费用、管理费用,并积极探索拓宽融资渠道,同时公司仍在进一步落实措施以降低各类费用。近年现金流为负主要系叠加了研发高投入、长交期规模备货、在地化供应链建设、业务十倍级别扩大、不同用户不同工艺验机等现金流高流出期。随着公司产品逐渐通过验证并形成批量销售、持续的在地化供应链建设取得成效,最大的平台级别的研发高投入期趋缓,电子材料 类现金流业务占比提升,未来公司经营性现金流将持续得到改善。12、行业以后的发展前景怎样?答:您好,公司认为目前行业已进入精细化发展阶段,且随着下游客户在制程节点上的分化,未来公司将聚焦先进制程的产品与服务。