中微公司：2025年第一季度报告

证券简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年第一季度报告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）在过去14年保持营业收入年均增长大于35%的基础上，2025年第一季度营业收入继续保持高速增长，同比增长35.40%，达到21.73亿元。 公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场，公司开发的薄膜设备性能达到国际领先水平，并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的PECVD设备的开发，增加薄膜设备的覆盖率。公司EPI设备顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM器件（包括MEMS和传感器、CIS、功率以及射频器件的超越摩尔器件）客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。 根据市场及客户需求，公司显著加大研发力度，目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%，研 发 投 入 占 公 司 营 业 收 入 比 例 约 为31.60%， 远 高 于 科 创 板 上 市 公 司 的 平 均 研 发 投 入 水 平（10%~15%）。 公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。 公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。 第一季度财务报表是否经审计□是√否 一、主要财务数据 (一)主要会计数据和财务指标 公司本期营业收入为21.73亿元，同比增长35.40%。公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续 获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场，设备性能达到国际领先水平，并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的PECVD设备的开发，增加薄膜设备的覆盖率。公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM器件客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。 公司本期归属于上市公司股东的净利润为3.13亿元，较上年同期增加0.64亿元，同比增长约25.67%，本期增加的主要原因：（1）由于本期营业收入增长35.40%，毛利较去年增加约2.20亿元。（2）由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，公司持续加大研发力度，以尽快补齐国产高端半导体设备短板，实现赶超，为持续增长打好基础。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%。本期研发费用较上年同期增加2.50亿元，同比增长约116.80%。（3）本期公司持有的以公允价值计量的股权投资本期盈利约0.04亿元，与上年同期的亏损0.41亿元相比，增加约0.45亿元。（4）本期公司计入其他收益的政府补助较上年同期增加约0.43亿元。 本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为2.98亿元，较上年同期增加0.35亿元，同比增长13.44%，主要系公司毛利增加2.20亿元，本期研发费用增长2.50亿元，以及研发加计扣除增长导致所得税费用同比减少约0.22亿元。 (二)非经常性损益项目和金额 √适用□不适用 对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。□适用√不适用 (三)主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因 二、股东信息 (一)普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表 单位：股 持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况□适用√不适用 前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化□适用√不适用 三、其他提醒事项 需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息□适用√不适用 四、季度财务报表 (一)审计意见类型□适用√不适用 (二)财务报表 合并资产负债表 2025年3月31日 编制单位:中微半导体设备（上海）股份有限公司 单位：元币种:人民币审计类型：未经审计 合并利润表 2025年1—3月 编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司 本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现的净利润为：0元。 公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文 合并现金流量表 2025年1—3月 编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司 单位：元币种：人民币审计类型：未经审计 公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文 (三)2025年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表□适用√不适用 特此公告 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会2025年4月24日