公司事件点评报告：刻蚀设备营收显著提升，研发项目持续推进

2024年05月15日 刻蚀设备营收显著提升，研发项目持续推进 —中微公司（688012.SH）公司事件点评报告 买入(维持) 事件 分析师：毛正 S1050521120001 maozheng@cfsc.com.cn 联系人：张璐 S1050123120019 zhanglu2@cfsc.com.cn 基本数据 2024-05-15 当前股价（元） 129.84 总市值（亿元） 805 总股本（百万股） 620 流通股本（百万股） 620 52周价格范围（元） 111.5-175.3 日均成交额（百万元） 1031.28 市场表现 资料来源：Wind，华鑫证券研究 相关研究 1、《中微公司（688012）：2023H1业绩大幅提升，刻蚀+MOCVD双轮驱动成长》2023-09-14 2、《中微公司（688012）：刻蚀设备持续突破，薄膜+光学检测设备未来可期》2023-04-24 3、《中微公司（688012）：新签订单持续高增，MOCVD设备进入收获期》2022-10-28 中微公司发布2024年第一季度报告：2024年一季度公司实现营业收入16.05亿元，同比增长31.23%；实现归母净利润2.49亿元，同比下降9.53%；实现扣非归母净利润2.63亿元，同比增长15.40%。 投资要点 ▌ Q1营收同比增长，刻蚀设备营收显著提升 2024年一季度公司营业收入为 16.05 亿元，同比增长 31.23%。公司的刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，一季度刻蚀设备实现收入 13.35 亿元，同比增长约 64.05%，占营业收入的比重也提升至83.20%。除刻蚀设备外，公司MOCVD 设备已经在国内蓝绿光 LED 生产线上占据领先的市占率，受终端市场波动影响，一季度 MOCVD 设备收入约 0.38 亿元，同比下降约 77.28%；备品备件及服务收入约2.32 亿元，由于半导体下游客户的产能利用率波动影响，同比下降约 4.38%。一季度公司归母净利润为 2.49 亿元，同比下降约 9.53%，主要原因是公司持有的股权投资公允价值变动和政府补助收益变动导致的非经常性损益同比减少约 0.61 亿元。 ▌ 刻蚀设备验证顺利，市占率大幅提升 公司主营产品等离子体刻蚀设备是除光刻机以外最关键的微观加工设备，是制程步骤最多、工艺过程开发难度最高的设备。受益于公司完整的单台和双台刻蚀设备布局、核心技术持续突破、产品升级快速迭代、刻蚀应用覆盖丰富等优势，2023 年公司 CCP 和 ICP 刻蚀设备均在国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升。公司根据技术发展及客户需求，大力投入先进芯片制造技术中关键刻蚀设备的研发和验证，公司开发的可调节电极间距的 CCP 刻蚀机 Primo SD-RIE 已进入国内领先的逻辑芯片制造客户开展现场验证，针对 DRAM 和 3D NAND 器件制造中最关键的高深宽比刻蚀工艺自主开发的具有大功率 400kHz 偏压射频的 Primo UD-RIE 已经在生产线验证出具有刻蚀≥60:1 深宽比结构的能力。晶圆边缘 Bevel 刻蚀设备完成开发，即将进入客户验证，公司的 TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和 MEMS 器件-40-30-20-1001020(%)中微公司沪深300公司研究 证券研究报告 证券研究报告 请阅读最后一页重要免责声明 2 诚信、专业、稳健、高效 生产。 ▌ 薄膜沉积设备获得重复性订单，研发项目持续推进 公司目前已有多款薄膜沉积设备产品进入市场。2023年公司新开发出 4 款薄膜沉积产品。公司首台 CVD 钨设备付运到关键存储客户端验证评估，已通过客户现场验证，满足金属互联钨制程各项性能指标，并获得客户重复量产订单。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，并已完成多家逻辑和存储客户对 CVD/HAR/ALD W 钨设备的验证，取得了客户订单。公司开发的应用于高端存储和逻辑器件的 ALD 氮化钛设备也在稳步推进，实验室测试结果显示，设备的薄膜均一性和产能均表现出世界领先水平。在现有的金属 CVD 和 ALD 设备研发基础上，公司已规划多款 CVD 和 ALD 设备，增加薄膜设备的覆盖率，进一步拓展市场。 ▌ 盈利预测 预测公司2024-2026年收入分别为83.29、108.31、138.73亿元，EPS分别为3.23、4.08、5.32元，当前股价对应PE分别为40.2、31.8、24.4倍，一季度公司刻蚀设备营收同比增长显著，验证顺利，市占率大幅提升，薄膜沉积设备获得重复性订单，随着对半导体设备的持续需求，公司业绩有望持续增长，维持“买入”投资评级。 ▌ 风险提示 宏观经济的风险，产品研发不及预期的风险，行业竞争加剧的风险，下游需求不及预期的风险。 预测指标 2023A 2024E 2025E 2026E 主营收入（百万元） 6,264 8,329 10,831 13,873 增长率（%） 32.1% 33.0% 30.0% 28.1% 归母净利润（百万元） 1,786 2,003 2,528 3,296 增长率（%） 52.7% 12.2% 26.2% 30.4% 摊薄每股收益（元） 2.88 3.23 4.08 5.32 ROE（%） 10.0% 10.2% 11.5% 13.3% 资料来源：Wind，华鑫证券研究 证券研究报告 请阅读最后一页重要免责声明 3 诚信、专业、稳健、高效 公司盈利预测（百万元） 资产负债表 2023A 2024E 2025E 2026E 流动资产: 现金及现金等价物 7,090 9,067 11,541 14,790 应收款 1,223 1,460 1,632 1,710 存货 4,260 4,369 4,496 4,728 其他流动资产 2,513 2,702 2,952 3,256 流动资产合计 15,087 17,598 20,622 24,485 非流动资产: 金融类资产 1,869 1,869 1,869 1,869 固定资产 1,988 2,364 2,410 2,331 在建工程 849 340 136 54 无形资产 687 709 730 751 长期股权投资 1,020 1,020 1,020 1,020 其他非流动资产 1,895 1,895 1,895 1,895 非流动资产合计 6,438 6,327 6,191 6,051 资产总计 21,526 23,926 26,813 30,536 流动负债: 短期借款 0 0 0 0 应付账款、票据 1,305 1,648 1,951 2,333 其他流动负债 1,547 1,547 1,547 1,547 流动负债合计 3,624 4,221 4,833 5,589 非流动负债: 长期借款 0 0 0 0 其他非流动负债 79 79 79 79 非流动负债合计 79 79 79 79 负债合计 3,702 4,299 4,911 5,668 所有者权益 股本 619 620 620 620 股东权益 17,823 19,626 21,901 24,868 负债和所有者权益 21,526 23,926 26,813 30,536 现金流量表 2023A 2024E 2025E 2026E 净利润 1784 2003 2528 3296 少数股东权益 -2 0 0 0 折旧摊销 161 167 193 197 公允价值变动 -203 50 0 0 营运资金变动 -2717 63 63 143 经营活动现金净流量 -977 2283 2784 3636 投资活动现金净流量 1827 133 158 161 筹资活动现金净流量 1126 -200 -253 -330 现金流量净额 1,977 2,215 2,689 3,467 利润表 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入 6,264 8,329 10,831 13,873 营业成本 3,393 4,405 5,666 7,378 营业税金及附加 12 50 32 28 销售费用 492 625 867 1,013 管理费用 344 416 542 694 财务费用 -87 -254 -323 -414 研发费用 817 1,083 1,332 1,637 费用合计 1,565 1,870 2,417 2,929 资产减值损失 -11 -5 0 0 公允价值变动 -203 50 0 0 投资收益 787 50 0 0 营业利润 1,980 2,221 2,840 3,662 加:营业外收入 33 33 0 0 减:营业外支出 3 3 0 0 利润总额 2,010 2,251 2,840 3,662 所得税费用 226 248 312 366 净利润 1,784 2,003 2,528 3,296 少数股东损益 -2 0 0 0 归母净利润 1,786 2,003 2,528 3,296 主要财务指标 2023A 2024E 2025E 2026E 成长性 营业收入增长率 32.1% 33.0% 30.0% 28.1% 归母净利润增长率 52.7% 12.2% 26.2% 30.4% 盈利能力 毛利率 45.8% 47.1% 47.7% 46.8% 四项费用/营收 25.0% 22.5% 22.3% 21.1% 净利率 28.5% 24.1% 23.3% 23.8% ROE 10.0% 10.2% 11.5% 13.3% 偿债能力 资产负债率 17.2% 18.0% 18.3% 18.6% 营运能力 总资产周转率 0.3 0.3 0.4 0.5 应收账款周转率 5.1 5.7 6.6 8.1 存货周转率 0.8 1.0 1.3 1.6 每股数据(元/股) EPS 2.88 3.23 4.08 5.32 P/E 45.0 40.2 31.8 24.4 P/S 12.8 9.7 7.4 5.8 P/B 4.5 4.1 3.7 3.2 资料来源：Wind、华鑫证券研究 证券研究报告 请阅读最后一页重要免责声明 4 诚信、专业、稳健、高效 ▌ 电子通信组介绍 毛正：复旦大学材料学硕士，三年美国半导体上市公司工作经验，曾参与全球领先半导体厂商先进制程项目，五年商品证券投研经验，2018-2020年就职于国元证券研究所担任电子行业分析师，内核组科技行业专家；2020-2021年就职于新时代证券研究所担任电子行业首席分析师，iFind 2020行业最具人气分析师，东方财富2021最佳分析师第二名；东方财富2022最佳新锐分析师；2021年加入华鑫证券研究所担任电子行业首席分析师。 高永豪：复旦大学物理学博士，曾先后就职于华为技术有限公司，东方财富证券研究所，2023年加入华鑫证券研究所。 吕卓阳：澳大利亚国立大学硕士，曾就职于方正证券，4年投研经验。2023年加入华鑫证券研究所，专注于半导体材料、半导体显示、碳化硅、汽车电子等领域研究。 何鹏程：悉尼大学金融硕士，中南大学软件工程学士，曾任职德邦证券研究所通信组，2023年加入华鑫证券研究所。专注于消费电子、算力硬件等领域研究。 张璐：早稻田大学国际政治经济学学士，香港大学经济学硕士，2023年加入华鑫证券研究所，研究方向为功率半导体、先进封装。 ▌ 证券分析师承诺 本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度，独立、客观地出具本报告。本报告清晰准确地反映了本人的研究观点。本人不曾因，不因，也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿。 ▌ 证券投资评级说明 股票投资评级说明： 投资建议 预测个股相对同期证券市场代表性指数涨幅 1 买入 > 20% 2 增持 10% — 20% 3