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本研报主要关注了国内领先的高纯工艺系统供应商——至纯科技。公司业务覆盖高纯工艺系统综合解决方案以及配套工程、厂务托管和后续运营维保等服务,下游覆盖泛半导体、生物医药等领域,中芯国际、京东方、扬子江药业等行业龙头均为公司客户。公司新签订单保持高速增长,高纯工艺系统业务基本盘稳固。此外,公司还向先进制程拓展,切入光伏领域获得批量订单。公司定向增发彰显公司长期发展信心。预测2023~2025年公司将分别实现营收42.0/53.2/64.4亿元,同比+37.7%/26.7%/21.1%,考虑到公司高纯工艺系统业务行业领先,半导体制程设备放量在即,给予公司2024年35xPE,目标价51.1元/股,首次覆盖,给予“买入”评级。但同时,也存在供应链风险、下游资本开支不及预期的风险、股东质押的风险、限售股解禁的风险等。