拟定增募资18亿元，发力半导体零部件、炉管、涂胶显影机等领域

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年12月13日 公司研究 拟定增募资18亿元，发力半导体零部件、炉管、涂胶显影机等领域 ——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之八 买入（维持） 事件：2022年12月10日，公司发布拟定增募资18亿公告：本次非公开发行募集资金不超过（含）人民币18亿元，扣除发行费用后，4亿元用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，1.6亿元用于至纯北方半导体研发生产中心项目，7亿元用于启东半导体装备产业化基地二期项目；发行股票数量不超过本次发行前上市公司总股本的30%，即不超过96,029,542股（含本数）。 点评：布局14nm及以下高阶制程单片湿法装备及零部件业务，摆脱对高阶设备核心零部件的进口依赖。《单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目》旨在研发先进制程工艺的高阶半导体湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀等，拟研发的零部件及模块产品完全适用于14nm及以下的逻辑芯片及高密度存储芯片的制造工艺及产业化，能够大力推动单片式腔体的国产化进程，推动高和极高深宽比清洗工艺技术研发水平，项目达成后将形成高阶制程单片湿法模块年产100套，各类零部件年产近2,000套，达产后预计年均销售收入7.2亿元。 持续发力半导体支持类设备和半导体零部件业务，建立北方区域协同中心。《至纯北方半导体研发生产中心项目》在北京亦庄设立湿法设备、系统集成及支持设备及核心零部件的北方生产研发基地，达产后预计将实现年产系统集成及支持设备30套、半导体湿法设备15台、半导体零部件2,610套的生产能力。近年来公司在北方地区的订单增长较快，生产一直处于饱和运行状态，本次投资项目的新增产能有望顺利消化，达产后预计年均销售收入4.8亿元。 积极布局炉管、涂胶显影等半导体设备，打开广阔成长空间。《启东半导体装备产业化基地二期项目》主要用于研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备，以及设备配套核心零部件等产品，项目达成后将形成年产炉管、涂胶显影等集成电路设备50套，光伏工艺设备120套，面板制程设备10套，系统集成及工艺设备逾3,000套，配套零部件逾30,000套的生产规模。公司客户涵盖中芯国际、合肥长鑫、上海华虹等一线厂商，本次扩产的工艺设备产品线将涵盖现有的泛半导体客户群，实现多产品布局，达产后预计年均销售收入12.1亿元。 盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着湿法设备业务的持续放量，公司进入快速发展期；另外，公司积极布局半导体零部件、炉管、涂胶显影机等集成电路业务，以实现多产品布局，有望打开广阔的成长空间。我们维持至纯科技2022-2024年的归母净利润分别为3.81、5.55、7.26亿元，当前市值对应的PE分别37x、25x、19x，维持“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 公司盈利预测与估值简表 指标 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 1,397 2,084 2,881 3,718 4,662 营业收入增长率 41.63% 49.18% 38.24% 29.03% 25.42% 净利润（百万元） 261 282 381 555 726 净利润增长率 136.36% 8.12% 35.36% 45.48% 30.77% EPS（元） 0.85 0.88 1.19 1.73 2.27 ROE（归属母公司)（摊薄） 8.29% 6.93% 8.58% 11.09% 12.67% P/E 51 49 37 25 19 P/B 4.3 3.4 3.1 2.8 2.4 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2022-12-09；股本2020-2022年分别为3.08/3.19/3.20亿股； 当前价：43.54元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 分析师：杨德珩 执业证书编号：S0930522110003 021-52523805 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 3.20 总市值(亿元)： 139.37 一年最低/最高(元)： 26.66/54.84 近3月换手率： 172.37% 股价相对走势 -50%-35%-20%-5%10%12/2103/2206/2209/22至纯科技沪深300 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 -5.58 10.44 2.89 绝对 -0.05 7.69 -18.46 资料来源：Wind 相关研报 22Q3业绩翻倍增长，半导体零部件新业务有望进入放量期——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之七（2022-10-30） 中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔——至纯科技（603690.SH）跟踪报告之六（2022-09-20） 22Q2扣非净利润同比+48%，清洗设备业务高速增长——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之五（2022-09-06） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 1. 公司部分季度财务指标 图表1：至纯科技近两年单季营收、归母净利润及成本情况 图表2：至纯科技近两年单季毛利率及净利率情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 图表3：至纯科技近两年合同负债情况 图表4：至纯科技近两年存货情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 图表5：至纯科技近两年存货周转率情况 图表6：至纯科技近两年应付账款周转率情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 利润表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入 1,397 2,084 2,881 3,718 4,662 营业成本 883 1,330 1,820 2,268 2,828 折旧和摊销 47 62 88 117 147 税金及附加 10 10 14 19 23 销售费用 54 74 102 130 163 管理费用 138 199 277 357 443 研发费用 96 144 202 260 326 财务费用 76 79 74 82 80 投资收益 22 51 10 20 20 营业利润 297 371 471 609 836 利润总额 298 375 454 631 824 所得税 37 90 73 76 99 净利润 261 284 381 555 726 少数股东损益 0 2 0 0 0 归属母公司净利润 261 282 381 555 726 EPS(元) 0.85 0.88 1.19 1.73 2.27 现金流量表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 经营活动现金流 -281 -191 398 362 502 净利润 261 282 381 555 726 折旧摊销 47 62 88 117 147 净营运资金增加 682 821 552 428 447 其他 -1,271 -1,355 -624 -737 -818 投资活动产生现金流 -909 -716 -538 -570 -572 净资本支出 -583 -921 -587 -590 -592 长期投资变化 231 206 0 0 0 其他资产变化 -557 -1 49 20 20 融资活动现金流 2,218 906 90 263 84 股本变化 49 11 2 0 0 债务净变化 845 277 124 303 116 无息负债变化 195 569 164 456 451 净现金流 1,028 -4 -50 55 14 资产负债表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 总资产 5,957 7,933 8,602 9,916 11,209 货币资金 1,503 1,519 1,469 1,524 1,539 交易性金融资产 0 0 0 0 0 应收账款 980 1,206 1,268 1,636 1,846 应收票据 15 13 29 37 47 其他应收款（合计） 61 104 115 149 186 存货 794 1,183 1,357 1,580 1,972 其他流动资产 166 203 243 284 332 流动资产合计 3,751 4,766 4,985 5,822 6,669 其他权益工具 149 154 154 154 154 长期股权投资 231 206 206 206 206 固定资产 530 975 1,313 1,668 2,025 在建工程 433 373 550 682 782 无形资产 124 173 180 186 192 商誉 256 256 256 256 256 其他非流动资产 79 129 168 168 168 非流动资产合计 2,205 3,167 3,617 4,094 4,540 总负债 2,796 3,643 3,930 4,689 5,257 短期借款 959 1,283 1,483 1,726 1,782 应付账款 345 527 728 1,021 1,273 应付票据 28 11 18 23 28 预收账款 0 0 0 0 0 其他流动负债 53 80 104 129 157 流动负债合计 1,810 2,761 2,955 3,611 4,072 长期借款 588 649 709 769 829 应付债券 228 0 0 0 0 其他非流动负债 35 180 220 262 309 非流动负债合计 986 881 976 1,077 1,185 股东权益 3,161 4,290 4,672 5,227 5,952 股本 308 319 320 320 320 公积金 2,288 3,088 3,125 3,172 3,172 未分配利润 482 673 1,016 1,524 2,249 归属母公司权益 3,143 4,066 4,448 5,002 5,728 少数股东权益 18 224 224 224 224 盈利能力（%） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 毛利率 36.8% 36.2% 36.8% 39.0% 39.3% EBITDA率 20.2% 23.2% 20.1% 22.5% 23.0% EBIT率 16.8% 20.1% 17.0% 19.4% 19.8% 税前净利润率 21.3% 18.0% 15.8% 17.0% 17.7% 归母净利润率 18.7% 13.5% 13.2% 14.9% 15.6% ROA 4.4% 3.6% 4.4% 5.6% 6.5% ROE（摊薄） 8.3% 6.9% 8.6% 11.1% 12.7% 经营性ROIC 5.7% 6.4% 6.8% 9.2% 10.5% 偿债能力 2020 2021 2022E 2023E 2024E 资产负债率 47% 46% 46% 47% 47% 流动比率 2.07 1.73 1.69 1.61 1.64 速动比率 1.63 1.30 1.23 1.17 1.15 归母权益/有息债务 1.64 1.86 1.92 1.91 2.10 有形资产/有息债务 2.86 3.29 3.42 3.5