敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年11月24日 行业研究 量测设备空间大格局好，上海精测、中科飞测等国产品牌蓄势待发 ——半导体量测设备行业跟踪 机械行业 半导体量测设备是第四大制程设备环节，诞生大公司KLA。量测设备的市场规模小于刻蚀、薄膜沉积设备、光刻机，但大于清洗设备、CMP、离子注入、Track、电镀等环节。2021年，量测设备全球市场规模104亿美元，占WFE市场的11%，而刻蚀209亿美元占23%，薄膜沉积207亿美元占22%，光刻机171亿美元占19%。量测设备环节龙头KLA，2022自然年收入指引101.5-104.5亿美元，同比增长24%-28% 国内外半导体量测设备市场都被美日欧垄断。根据中科飞测招股说明书，2020年全球半导体量测设备主要被KLA、Applied Materials、日立高科技、Lasertec、Onto、ASML、Nova、Camtek等垄断；中国大陆市场同样被KLA、Applied Materials、日立高科技、Lasertec、ASML等垄断，其中美、日、欧的量测设备厂商份额分别不低于64%、11%、3%，美国厂商份额最高。 半导体量测设备国产化率低。根据精测电子最新投资者关系活动记录，在前道量测领域，本土生产线的国产设备供给率较低。2021年，国内量测设备龙头企业上海精测半导体、中科飞测销售收入分别为1.11亿元、3.61亿元。国产厂商的收入规模较小，国产品牌的市场份额偏低。根据中国国际招标网数据统计，本土产线量测设备仍主要依赖于KLA、Onto、应用材料等进口品牌。 量测设备的国产品牌蓄势待发。尽管相比刻蚀、PVD、CMP、清洗等环节，量测设备环节国产化率偏低，但我国涌现了一批优质的国产量测设备品牌，包括睿励、东方晶源、上海精测半导体、中科飞测、埃芯半导体、南京中安、御微半导体，而天准科技通过收购Muetec、赛腾股份通过收购Optima，布局量测业务。 精测电子布局多个量测设备，且获得重复订单。上海精测的膜厚产品、电子束量测设备已取得国内一线客户的批量订单；明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单；OCD设备获得多家一线客户的验证通过，且已取得部分订单；半导体硅片应力测量设备也取得客户订单，其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。截至2022年11月11日，精测电子公布子公司上海精测在过去12个月内中标某客户3.38亿元订单。 投资建议：建议关注半导体前道量测设备厂商中微公司、天准科技、赛腾股份、精测电子。 中微公司：参股的睿励科学仪器，主要产品包括光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等，2021年睿励销售收入0.41亿元。 精测电子：膜厚产品（含集成式膜厚产品）、电子束、明场晶圆有图形缺陷检测、OCD量测等设备产品和相关技术通过自主研发均实现技术突破，获得了国内一线客户的批量订单或验证通过。2021年上海精测销售收入1.11亿元。 天准科技：公司自主研发的精密测量仪器，测量精度达到0.3微米，与国际最先进同类产品精度相当。2021年公司收购德国MueTec 100%股权，布局晶圆的OCD、Overlay等尺寸测量，以及晶圆的宏观和微观缺陷检测设备。22H1在半导体及泛半导体领域，实现营业收入 2.2亿元。 赛腾股份：公司收购全球领先晶圆检测设备供应商日本OPTIMA，切入半导体业务，布局晶圆边缘检测、晶圆缺陷检测、晶圆正面/背面检测、针孔缺陷检测等。2021年公司半导体板块营收2.17亿，增速良好；毛利率高达45%，维持高位。 风险分析：外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。 买入（维持） 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 yangshaohui@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 -33%-22%-11%-1%10%09/2112/2104/2207/22机械行业沪深300 资料来源：Wind 相关研报 光伏设备和半导体设备业绩表现强劲，国内晶圆代工龙头逆周期加大投资力度 ——机械行业周报2022年第35周（8.21-8.27） 新能源汽车拉动碳化硅快速增长，四川工业企业让电于民反映电力系统配储紧迫 ——机械行业周报2022年第34周（8.14-8.20） 中微公司陆续布局LPCVD等新产品，美国芯片法案后再次加大EDA、半导体材料的出口限制——机械行业周报2022年第33周（8.7-8.13）（2022-08-15） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 机械行业 目 录 1、 半导体量测设备是第四大制程设备环节，诞生大公司KLA ................................................ 4 2、 国内外半导体量测设备市场都被美日欧垄断 ...................................................................... 6 3、 半导体量测设备国产化率低 .............................................................................................. 7 4、 量测设备的国产品牌蓄势待发 ........................................................................................... 8 5、 投资建议：关注半导体前道量测设备厂商中微公司、精测电子、天准科技、赛腾股份 ....... 10 6、 风险提示 ......................................................................................................................... 12 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 机械行业 图目录 图1：各类制程设备的全球市场规模对比（2020-2022E，百万美元） ............................................................... 4 图2：各类制程设备的全球市场规模及占比（2021，百万美元） ....................................................................... 4 图3：KLA收入规模居全球半导体设备厂商第5位（2021年，亿美元） .......................................................... 5 图4：KLA 2022年收入预计延续高增长趋势（亿美元） ................................................................................... 5 图5：2020年全球半导体量测设备竞争格局（销售额口径） ............................................................................. 6 图6：中国大陆半导体量测设备行业竞争格局（销售额口径） .......................................................................... 7 图7：本土晶圆制造产线的半导体设备国产化率（截止2021年底） ................................................................. 8 表目录 表1：KLA位居全球半导体量测行业第一 .......................................................................................................... 6 表2：某本土晶圆制造产线量测设备中标数据统计（截止2021年底） ............................................................. 7 表3：国产半导体量测设备产品的竞争与互补性 ................................................................................................ 8 表4：国产半导体量测设备企业历年收入对比（亿元） ..................................................................................... 9 表5：中科飞测的订单和客户统计 ...................................................................................................................... 9 表6：上海精测半导体中标统计 ........................................................................................................................ 11 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 机械行业 1、 半导体量测设备是第四大制程设备环节，诞生大公司KLA 量测设备的市场规模小于刻蚀、薄膜沉积设备、光刻机，但大于清洗设备、CMP、离子注入、Track、电镀等环节。 图1：各类制程设备的全球市场规模对比（2020-2022E，百万美元） 资料来源：上证路演中心，中微公司，Gartner 2022，光大证券研究所 按照各类制程设备的2021年全球市场规模或价值量占比排序依次是： (1) 刻蚀：209亿美元，占23%； (2) 薄膜沉积：207亿美元，占22%； (3) 光刻机：171亿美元，占19%； (4) 量测设备：全球市场规模104亿美元，占11%； (5) 清洗：51亿美元，占6%； (6) 涂胶显影：37亿美元，占4%； (7) CMP：28亿美元，占3%； (8) 热处理：26亿美元，占3%； (9) 离子注入：21亿美元，占2%。 图2：各类制程设备的全球市场规模及占比（2021，百万美元） 资料来源：上证路演中心，中微公司，光大证券研究所 敬请参阅最后一页特别声明 -5- 证券研究报告 机械行业 量测设备龙头KLA 2021自然年收入82亿美元，位居全球半导体设备供应商第5名，2022自然年收入指引101.5-104.5亿美元，同比增长24%-28%。 图3：KLA收入规模居全球半导体设备厂商第5位（2021年，亿美元） 资料来源：Wind，各公司公告，光大证券研究所 图4：KLA 2022年收入预计延续高增长趋势（亿美元） 资料来源：公司公告，光大证券研究所 *2022年预测值取自KLA公告收入指引中值 敬请参阅最后一页特别声明 -6- 证券研究报告 机械行业 2、 国内外半导体量测设备市场都被美日欧垄断 根据中科飞测招股说明书，2020年全球半导体量测设备主要被KLA、Appli