嘉宾：零部件国际领先企业17年经验专家【Q&A】1. 半导体零部件、模组的分类？每个分类国产化的情况？难度的排序？A：零部件分类：・ 模组件：分为EFEM （传送模块）、传送腔体、反应腔体，还有部署 设备（气柜、电柜）、清洗组件、冷却组件（CM）。・零部件：1） 金属件：一般包括铝锭（纯铝，用作腔体）、不锈钢（用作骨架）、铝 合金为原料制作的产品，目前国产化率最高。2） 非金属件：陶瓷件、石英件、石墨。3） 气柜：主要用世伟洛克的产品；其中的气体管路等配件主要用的SMC、 VAT的产品。气柜产品有的是厂家自己制作的，有的是委托下游厂商制作 的，例如富士金、VAT、UCT。4） 仪表类：主要是流量计，目前主要用SMC和日本津市的多一些。5） 射频电源：主要用的MKS产品。6） 阀门：主要用的VAT和SMC，VAT的产品是用的最多的，国内也是用这 两家多一些。但是应材的产品是自己定制的，不采用现有的模块。7） 泵：常用的就是德国普旭和爱德华，爱德华用的是最多的。8） 管路连接：与气柜连接的管路主要是四家的产品，MKS、VAT、UCT、 富士金。・ 国产化进度：目前不论是国内还是国外设备厂商都是用的上面这些厂 商的产品，很少用国内没有认证的零部件产品。除了金属加工件这种常见 的产品外，其他的气体管路、气柜、仪表、电源、阀门、泵之类的，都是 用的国际大品牌。・ 难易程度：1）非金属类产品加工是难度最大的，交期最长可能8~10 个月。例如石英件、陶瓷件的加工等，可能都是以国外为主。国内的大和 热磁，目前是国内用的最多的。2）其次是配置类，基本上都是被国外所 垄断，包括精度高一点的各种流量计，这些东西是被国外垄断的，交期也 非常长，有时还涉及到一些政治因素。3)第三是气柜模组部分。4)最后 是金属加工的部分。2. 模组和金属加工的生产模式？A：模组部分生产模式：其中EFEM模组，国内用的最多的品牌是日本RORZE 的；传输模组的部分都是靠设计，通过仿制应材、LAM等产品，之后自己研发 一部分，定制产品委外制造；气柜也根据自己的工艺去设计，当然也会参考一些 国外的设计，通过委外厂商(VAT、UCT、富士金等)进行定制。3. 现在全球有哪些大的企业，国内的情况又是怎么样？A： (1)机加工部分，金属加工这一块基本上都是国内制造的，通过国内一些 大的机加工厂，像富创、富士迈、托伦斯、靖江先锋、晶盛机电等，他们本身业 务都是以相关的半导体设备零部件机加工为主。这一块不是瓶颈。(2) 流量计、仪表、射频电源、阀门、泵等产品，目前还没有国内厂商进入设备中，都是用的现有的世伟洛克、富士金、SMC等这几家的产品。国内的半导 体零部件生产厂商，富士迈、北方华创、沈阳富创、晶盛机电、先导智能等，用 的都是从这些品牌采购原物料进行二次组装的动作。(3) 零部件整体的国产化率，估计不会到20%。除了机加工件、一些陶瓷件和 石英件的加工之外，其他部分基本上都是这些国际的大品牌占据市场。目前国内 替代的只有一款，就是北方华创旗下的七星的流量计，会用在华创自己的设备 上。气体厂商都没用七星的流量计，没有被市场认证，所以没有人敢随便用。4. 对比一下国内厂商，富创、富士迈、靖江先锋、托伦斯、大和热磁等， 他们的业务情况？A：对于一个金属零部件企业，需要有自己的机加工厂、钣金厂(做烤漆和喷 砂)、表面处理厂(清洗、电镀等)。(1) 技术对比： 这几家厂商的加工方式差不多，都有自己的机械加工和表面处 理技术，富创、富士迈有钣金技术，托伦斯、靖江先锋还有没钣金。 机加工这部 分除了工程师能力技术外，还和加工设备精度很相关，这直接决定了零部件的精 度。目前做得最好的是富士迈，靖江先锋、托伦斯和富创都是从富士迈挖的人， 富士迈的设备也都是买的日本、德国的高精度设备，单台都是上千万的价格。・ 富士迈是台资企业，在中国台湾的母公司是京鼎精密，产品主要是供应给应材的，精密加工每年出货腔体在1000多颗，目前年销售额大概有20多亿元。・ 大和热磁主要做石英件加工，目前国内半导体设备厂商用的比较多的 是他们家的。UCT做气体管路和焊接产品比较多，按照定制的要求对管路进行弯折 和不锈钢管的焊接等。(2) 技术差距： 国内这几家公司主要区别是加工工艺和精度部分，只要有带密 封性质的腔体和管路的部分对工艺是最关键，目前这几家公司在工艺上有点参差 不齐。例如要加工一个两米多的腔体，这几家做都没有问题，只是在加工精度上 不一定能达到真正的设计要求。富创对标的是富士迈，整合能力比较强；靖江先 锋、托伦斯也一样，但是没有钣金厂。(3) 客户分类： 大部分都是国内的客户，富创代工了一部分应材的业务。靖江 先锋和托伦斯主要服务泛半导体行业，包括光伏和半导体， 光伏设备要求没那么 高；富创精密集中在半导体领域。5. 机械加工的难度在哪？有什么技术壁垒吗？A： (1)机加工难度主要是在精度加工和一些大尺寸加工，受限于加工的设 备，尺寸越大，设备厂商可能没办法增加资金投入去进行加工。精度受限于机加 工设备，德国和日本的机房精度都很高，所以在精度上是有差异的。要是做应材 的订单，基本上国内的一些设备很难做成，良品率非常低。(2)除了跟机台有 关系，跟公司的工程师的技术能力也有关系，设计加工的工艺要反复摸索，要有 技术经验。*不良率就是指加工尺寸精度上不达标，比如表面粗糙度、加工尺寸等，需要达 到小数点两位数；还有弧度、表面粗糙度、加工精度这三方面达不到图纸的技术 要求。富士迈的良率基本上都在90%。富创的良率在20~30%，产线有黄单，意味着 这个加工件有异常。富创的产品分两部分，一等的做的比较好的部分直接给美国 客户了；二等的稍微差一点的可能自己组装，组装之后供给国内客户。靖江先锋 跟托伦斯，做了一部分光伏设备的零部件，主要面向国内客户，不会要求那么 高，所以比较容易达成要求。6. 表面处理难点在哪？A： 主要难点就是表面处理，比如做阳极处理镀膜类的工艺，重点关注膜厚、表 面硬度、表面色差。化学药水的配比、电流控制、反应时间长短等，都会影响到 表面处理的结果。这些虽然是有行业标准，但是实际在制作过程中还是不稳定 富士迈做的产品稳定性比较好。富创的产品目前从专家角度来看，腔体里不同的 区域有色差，感觉工艺就不是那么好。靖江先锋进行表面处理的均匀度要好一 些，今年5月份，富创的产品拿去靖江先锋重新加工了。7. 组装的技术难度？A：组装不是很难，在几个技术里是技术含量最低的，只是受限于人的习惯和行 业的标准。只要大家把训练制度执行力做好，按照标准去作业，基本上没有太大 的问题。因为行业内被应材训练出来了，完全按照应材的标准去做的，基本上国 内所有的半导体设备企业都是对标的应材的标准。8. 国内现在做不了的仪器仪表类的、阀门、泵、射频电源等产品，难点在 哪？A： 流量计、隔膜阀等产品是受到美国的军工管制的。特别是精度控制流量计的 部分，是我们目前国内没办法制作的。国内公司买流量计都是受到美国管控，要 授权之后才能卖，而且产品一旦坏掉了，要把坏的寄到美国，美国再重新申请新 的回来再用，不能自己报废。9. 目前零部件的需求及交期情况？国产化未来有多大的空间？ A： 像一些石英件、陶瓷件的加工，以及隔膜阀、流量计等产品目前不管在半导 体行业，还是光伏行业中都是最稀缺的一些零部件，大家都在抢资源。有的交期 都排到10个月之后，甚至排到12个月之后或更长，大家都在抢国际市场上的资 源。国内的零部件厂商目前为止还没有哪家能跟国际企业去媲美的，一个产品进入市场必须得有下游厂商去试错才能去做这个东西。华创在用他自己的零部件，但是其他的半导体厂商没人敢用，所以关键的部分基本上都 是受制于国外。・ 目前只有任人摆布，有好的资源、好的价格就可能会比较好拿货，付 款条件好、价格高，有人脉、有资源，交期就比较短。10. 阀门的国产化的进度，还有国内厂家能做到一个什么样的水平？A：阀门的几个品牌，VAT是最多的、其次是富士金、再一个就是MKS。国产 的基本上半导体行业还没人敢用国产类的阀门、隔膜阀类的东西。11. 京鼎精密的毛利率一直在25~26%左右，富创在30~40%左右，是因 为富创的良率在这几年有很快的提升吗？A：关于富创的良率问题，数据来源是两三年之前，这两年会不会有一个质的一 个飞跃，有可能也会有，但是提到提高了多少不清楚。富士迈和应材的的交易，是先到京鼎，从京鼎再交易到美国，这中间 会有一个利差。・富士迈下面的一个部门，毛利大概是40%左右。因为组装的行业是代 工模式，所以基本上报价就是以组装的工时为主，所以工时的费率都是透 明化的。客户给个目标的工时，就按这个目标工时去定价格。基本上价格 控制到一个范围了，剩下的部分就是内部一定要做哪些改善去提升效率， 怎么去提升毛利。・富士迈毛利低的原因，还有一个就是富创的人工成本各方面比富士迈 要便宜的多，再加上一些设备上可能也会比富士迈要低一点，富士迈用的机加工的设备而基本上都是德国日本进口的，一台设备可能要1600多万。12. 未来可能因为中美关系的问题，不再采购中国的材料设备等，甚至可 能要把之前买的中国一些设备报废掉。这个会不会影响到之后富创或者富 士迈给应材的供应？A：应材投资了几千万美金，在中国台湾厂又建了一个新的组装厂加机加工厂， 担心以后两岸关系或中美关系导致没办法通过富士迈加工和组装。一部分业务可 能会后续会转到中国台湾，基本上不会有太多的东西直接搬到中国台湾的。目前 富士迈上海厂业务还是很火的，目前订单量还是非常可观的，每年基本上 20~30%成长。・ 富创采购了一小块富士迈产品，相关的份额很小，只用在一种模块 中，所以组装部分也非常少，所以这一块对它影响不大。・ 富创未来主要做国内的一些业务，对外面的只有应材的一小部分，对 公司来说可有可无；对于应材来讲，也只是很小的一块业务， 所以对两边基本不会有什么影响。13. 晶盛机电和北方华创这些设备公司的零部件板块营收情况？A：晶盛有机加工的部分，之前是以单晶炉起家的，后面逐步扩展到一些蓝宝石 或者其他一些设备，目前扩展到一些外延设备，供给中环等厂商。后续公司通过 收购并购来增加产品种类，例如收购了杭州一家机加工厂，但是还是原来的人管 理，不是靠研发来扩充业务。・晶盛机电旗下的零部件业务这两年能做到十几个亿，主要是因为他们 的单晶炉占全国80~90%的市场，还一直在出口，外延设备每年订单量也超过100台，所以他们自己用自己的产品，订单量比较大。14. 第三代半导体碳化硅的设备，外延环节设备也是依赖于日本以及欧美 的设备，听说北方华创在积极的布局，这一块的国产化的难点在哪？A：外延设备目前国内首先做出来的是北方华创，第二家是先导旗下的天芯微半 导体，目前是竞争对手，对标的也是应材的外延设备。・ 目前华创是优先做出来这个设备，但华创是先把设备做出来，还没有 跑工艺；天芯微是a过了之后在厂里跑了工艺，华创是把a放到中芯国际做了。目前华创的工艺问题比较多一点，天芯微技术比较领先一点。华创技 术要落后一些，虽然出货3台了，但是并没有在厂内进行验证。・设备难点其实对零部件来讲还好，因为大家都能做。工艺难点第一个 就是温度的控制，第二个就是工艺气体的控制。用同一款设备，控温的参 数和流量的校正这些参数调整还是不一样，是需要做一个微调。温度和一 个工艺气体的配比，这两个是最重要的。还有就是对于工艺腔体的要求， 核心的东西就是里面的石英件，因为腔体温度大概在960度到1160之间区 间， 所以对石英件的精度，比如说它的光折射率、工作完应力释放、热胀 冷缩的空间设计等因素，这些都会影响到腔体的使用。 15. 碳化硅的外延设备国产化能够起来的时间节点大概什么时候？A： 参照对标的是应材，天芯微目前的产品有些参数是优于他们的。但是这涉及 到一个问题，就是说它的稳定性是怎么样的，这是一个有待验证的问题。目前打 算24小时去跑这个设备。・推出时间预估大概在明年，目前接到订单已经有除了贝塔级的中芯国 际之外有两台已经被客户定了，其他部分不敢接