请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 [Table_Main] 证券研究报告 | 行业点评 电子 2022年09月20日 电子 优于大市（维持） 证券分析师 陈海进 资格编号：S0120521120001 邮箱：chenhj3＠tebon.com.cn 研究助理 市场表现 相关研究 1.《海康威视（002415.SZ）：回购彰显信心，坚定看好长期价值》，2022.9.16 2.《VR行业专题1：Pancake光学落地加速，把握硬件创新机遇》，2022.9.15 3.《歌尔股份（002241.SZ）：VR龙头，引领消费电子创新新周期》，2022.9.13 4.《炬光科技拟收购公告点评：-炬光科技（688167.SH）：拟收购泛半导体设备厂商，加速中游应用商业化》，2022.9.12 5.《电子月报（台股）2022-08：下游需求分化，晶圆代工及材料头部厂商增长稳健》，2022.9.12 国产量测设备公司逐步取得突破 [Table_Summary] 投资要点：  检测和量测构成半导体制造的质量控制环节。检测和量测是半导体加工过程中的两大质量控制环节（以下统称“量检测”）。应用于前道制程和先进封装的质量控制根据工艺可细分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大环节。检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷；量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。  量检测设备全球市场空间较大。根据SEMI预测，2022年全球半导体前道制造设备市场销售额预计为1010亿美元。参照Gartner的统计，量检测等工艺控制设备在半导体设备中占比为11%，我们预计2022年全球量检测设备的市场规模为111亿美元。假设中国大陆市场占全球比例为28%，则预计2022年中国大陆的量检测设备市场规模在31亿美元。  全球半导体检测和量测设备市场呈现国外设备企业垄断的格局。全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立等。科磊半导体一家独大，根据VLSI Research的统计，其在2020年全球检测与量测设备的合计市场份额占比为50.8%。2020年，全球前五大公司合计市场份额占比超过了82.4%，均来自美国和日本，市场集中度较高。  量检测设备国产化率很低，未来有较大国产化空间。目前国内主要的量检测设备公司包括：中科飞测、上海精测、上海睿励等，而这些公司的合计营收体量占中国大陆半导体检测和量测设备市场的份额较小，但呈现快速增长趋势。根据我们的测算，2021年，上述三家国产量检测公司的半导体设备营收为5.13亿元，占中国大陆的市场份额为2.7%，显示量检测设备目前的国产化率很低，而未来的潜在国产化空间较大。  国产量检测公司逐步取得突破。中科飞测的无图形晶圆缺陷检测设备和三维形貌量测设备已适用于2Xnm或以上制程工艺，套刻精度量测设备也有28nm以下产品在客户产线验证中。精测半导体布局了晶圆缺陷检测、关键尺寸测量、膜厚测量、形貌量测等多个产品，其中明场检测、OCD、电子束缺陷复查均在国内处于领先地位。睿励科学仪器目前已有多台光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备出货给国内客户，其中睿励的光学膜厚测量设备已应用于28nm及以上的芯片生产线中并在进行14nm工艺验证，而其光学缺陷检测设备目前最高检测精度达到100nm，并获得多台订单。  投资建议：建议关注国产量测公司，标的包括：中科飞测（未上市）、精测电子、中微公司（睿励科学仪器第一大股东）。  风险提示：下游晶圆厂需求不及预期、量测设备行业竞争加剧、新品研发进度不及预期风险。 -24%-20%-15%-10%-5%0%5%10%2021-092022-012022-05沪深300 行业点评 电子 2 / 9 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 内容目录 1. 量检测设备市场大且壁垒高 ......................................................................................... 4 2. 量检测设备国产化空间较大 ......................................................................................... 6 3. 国产量检测公司逐步取得突破 ..................................................................................... 7 4. 风险提示 ...................................................................................................................... 8 行业点评 电子 3 / 9 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 图表目录 图1：半导体检测与量测技术 ........................................................................................... 4 图2：2020年全球半导体检测和量测设备的市场占比 ..................................................... 4 图3：2020年全球半导体量测和检测设备不同技术市场占比 .......................................... 4 图4：全球半导体检测和量测设备市场规模 ..................................................................... 5 图5：2021年全球半导体设备市场结构 ........................................................................... 5 图6：全球半导体设备销售额（包含前道、测试及封装测试设备） ................................. 5 图7：中国大陆市场半导体量检测设备的全球占比不断提升 ............................................ 5 图8：2020年半导体检测和量测设备市场各类设备占比 ................................................. 6 图9：2020年全球半导体工艺检测设备市场竞争格局 ..................................................... 6 图10：2020年中国大陆半导体工艺检测设备竞争格局 ................................................... 6 图11：国产量检测设备公司的半导体设备收入对比（亿元） .......................................... 7 图12：主要国产量检测设备公司的市占率测算（国内公司销售收入单位为亿元） ......... 7 图13：国产量检测设备公司的产品进展 .......................................................................... 8 行业点评 电子 4 / 9 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 1. 量检测设备市场大且壁垒高 检测和量测是半导体加工过程中的两大质量控制环节。应用于前道制程和先进封装的质量控制根据工艺可细分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大环节（以下统称为“量检测”设备）。检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷；量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。 量检测设备分为光学和电子束技术路线，其中光学占主流。从技术原理上看，检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术等。目前，在所有半导体检测和量测设备中，应用光学检测技术的设备占多数。光学检测技术基于光学原理，通过对光信号进行计算分析以获得检测结果。在生产过程中，晶圆表面杂质颗粒、图案缺陷等问题的检测和晶圆薄膜厚度、关键尺寸、套刻精度、表面形貌的测量均需用到光学检测技术。2020年全球半导体检测和量测设备市场中，光学、电子束占比分别为75.2%、18.7%。由于下游厂商对量产高速的需求，光学检测技术设备仍然占据了主要的市场份额。 图1：半导体检测与量测技术 资料来源：中科飞测招股说明书、德邦研究所 图2：2020年全球半导体检测和量测设备的市场占比 图3：2020年全球半导体量测和检测设备不同技术市场占比 资料来源：VLSI Re