特种气体行业是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体。特种气体在半导体制造工艺、微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中扮演着重要角色。2021年中国特种气体行业市场规模达到282亿元，且国产化趋势明显。全球及中国特种气体行业市场规模预计将持续增长。
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