半导体清洗设备行业报告：国产替代

随着半导体制造硅晶圆产能持续向中国转移，清洗设备作为半导体制造的前道核心设备之一，有望受益于行业景气上行。国内厂商如至纯、盛美、北方华创已经具备28nm制程清洗设备能力，产品性较强，具备进口替代能力，能满足大陆晶圆厂的扩产需求，清洗设备国产替代迎快速发展期。相关标的推荐至纯科技、北方华创，兆声波清洗设备关注盛美股份，干法清洗设备关注芯源微。同时，需要关注全球半导体周期向下风险、国内设备公司技术研发不及预期风险、竞争加剧风险以及国产化进度不及预期风险。