公司ICP刻蚀设备收入和新增订单高速增长，薄膜沉积设备稳步推进中

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年8月13日 公司研究 公司ICP刻蚀设备收入和新增订单高速增长，薄膜沉积设备稳步推进中 ——中微公司（688012.SH）系列跟踪报告之四 买入（维持） 当前价：146.75元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 6.16 总市值(亿元)： 904.33 一年最低/最高(元)： 91.28/190.83 近3月换手率： 76.17% 股价相对走势 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 24.21 29.28 -3.12 绝对 20.51 34.74 -19.50 资料来源：Wind 相关研报 公司2021年扣非净利润大幅增长，ICP刻蚀机和薄膜沉积设备进展迅速——中微公司（688012.SH）系列跟踪报告之三（2022-04-10） 2021三季报点评：刻蚀设备收入翻倍，三维立体高速发展——中微公司（688012.SH）系列跟踪报告之二（2021-10-29） 国产替代机遇打造刻蚀设备平台型龙头——中微公司（688012.SH）投资价值分析报告（2021-09-29） 事件： 2022年8月11日，公司发布2022年半年度报告：公司2022H1营业收入为19.72亿元，同比增长47.30%；归母净利润为4.68亿元，同比增长17.94%；扣非归母净利润为4.41亿元，同比增长615.26%；毛利率为45.36%，同比增长3.03pcts；净利率为23.66%，同比减少5.96pcts。 公司2022Q2营业收入为10.23亿元，单季环比增长7.74%，单季同比增长39.08%；归母净利润为3.51亿元，单季环比增长199.18%，单季同比增长35.44%；扣非归母净利润为2.54亿元，单季环比增长36.41%，单季同比增长403.47%；毛利率为45.27%，单季同比增长1.76pcts；净利率为34.18%，单季同比减少1.02pcts。 点评： 22H1公司ICP刻蚀设备收入+414%，新增订单量+62%，实现高速增长。 公司22H1营收同比+47.3%，主要系公司持续加大研发投入和业务开拓力度，等离子体刻蚀设备及MOCVD设备等核心业务保持了高速和稳定的增长。 公司22H1扣非归母净利润同比+615.3%，主要系营收和毛利同比均有大幅增长。 公司22H1归母净利润同比+17.9%，主要系：（1）扣非净利润增加3.79亿；（2）非经常性损益减少3.08亿，变动包括政府补助减少2.03亿以及股权投资收益减少1.77亿（持有中芯国际和天岳先进股票价格下降）。 分业务来看：ICP刻蚀设备收入同比+414%，实现高速增长。公司22H1刻蚀设备收入为12.99亿元，同比+51.5%，毛利率达到46.05%，其中CCP刻蚀设备收入8.86亿元，同比+14.0%，ICP刻蚀设备收入4.13亿元，同比+414.1%；公司22H1MOCVD设备收入为2.41亿元，同比+9.9%，毛利率达到35.42%，同比+4.65%。 从订单情况来看：新增订单同比+61.8%，合同负债环比+6.3%，存货环比+18.7%。公司22H1新签订单金额达30.57亿元，同比+61.8%；合同负债为15.94亿元，环比+6.3%；存货为24.87亿元，环比+18.7%。 刻蚀设备：CCP刻蚀设备持续提升市场率，ICP刻蚀设备出货量保持高速增长。 CCP刻蚀机：公司CCP刻蚀设备持续提升市场占有率，在部分客户市占率已进入前三位。在先进逻辑电路方面，成功取得5纳米及以下的重复订单。在存储电路方面，在64层、128层及更高层数3DNAND的生产线得到广泛应用，并积极布局在动态存储器的应用，已经取得客户批量订单。公司去年推出首台用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀设备，在国内多家客户已累计收到超过30腔订单。 ICP刻蚀机：公司ICP刻蚀设备产品出货量保持高速增长。Primo nanova®刻蚀产品已经在超过15家客户的生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的验证，工艺覆盖3DNAND芯片、DRAM芯片及逻辑芯片，截止到2022年6月底，已经顺利交付超过220台反应腔，持续取得国际先进3DNAND客户批量订单。Primo Twin-Star®刻蚀设备订单数量持续增加，已进入更多客户端进行验证。深硅刻蚀设备Primo TSV 200E®和300E®在先进系统封装、2.5维封装和微机电系统芯片生产线等成熟刻蚀市场继续获得重复订单的同时，也在3D芯片等新兴市场得到验证。 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 中微公司（688012.SH） MOCVD设备：收入稳步增长，Micro LED及第三代半导体有望带来新的业绩增量。公司蓝光照明 Prismo A7®以及深紫外 LED 外延片 Prismo HiT3®产品持续服务客户，用于高性能 Mini LED 量产的Prismo UniMax®产品已累计收到来自国内多家领先客户的批量订单合计 180 腔。同时，公司也正在开发针对 Micro LED 应用的专用设备，还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备市场，开发氮化镓功率器件量产应用的 MOCVD 设备，目前已交付国内外领先客户进行生产验证。此外，公司启动了应用于碳化硅功率器件专用设备的开发。 薄膜沉积设备：钨填充CVD设备获得了阶段性进展，CVD、ALD和EPI设备开发稳步推进中。公司的钨填充CVD设备获得了阶段性进展，能够满足先进逻辑器件接触孔填充应用，以及64层、128层和200层以上3D NAND中的多个关键应用，目前已通过关键客户的工艺验证，积极推进量产验证中。基于金属钨CVD设备，公司正进一步开发CVD和原子层沉积设备。公司外延设备（EPI）研发进展顺利，已进入样机的制造和调试阶段，面向28纳米及以下的逻辑器件、存储器件和功率器件等的广泛应用，满足先进制程中锗硅外延工艺需求。 VOC净化设备与德国 DAS签订战略合作协议。子公司中微惠创利用分子筛的吸附原理的化学反应器，开发制造了工业用大型 VOC 净化设备，已与德国 DAS 环境专家有限公司签订战略合作协议，双方在半导体行业尾气处理设备领域展开紧密的合作，共同推动环保科技行业的发展。 盈利预测、估值与评级：中微公司是国内刻蚀设备和MOCVD设备的领军企业，我们持续看好公司雄厚的内生技术实力以及外延扩展能力，维持公司2022年的归母净利润为10.73亿元，考虑到ICP刻蚀机和薄膜沉积设备进展迅速，上调2023-2024年的归母净利润为14.06亿元（上调10.5%）、18.67亿元（上调21.2%），当前市值对应的PE值分别为84x、64x和48x，维持“买入”评级。 风险提示：晶圆厂扩张不及预期，客户导入不及预期，技术研发不及预期。 图表1：公司盈利预测与估值简表 指标 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 2,273 3,108 4,504 6,142 8,265 营业收入增长率 16.76% 36.72% 44.90% 36.38% 34.57% 净利润（百万元） 492 1,011 1,073 1,406 1,867 净利润增长率 161.02% 105.49% 6.09% 31.03% 32.79% EPS（元） 0.92 1.64 1.74 2.28 3.03 ROE（归属母公司)（摊薄） 11.27% 7.26% 7.15% 8.56% 10.21% P/E 159 89 84 64 48 P/B 18.0 6.5 6.0 5.5 4.9 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2022-08-11；2020-2021年的股本分别为5.35/6.16亿股； 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 中微公司（688012.SH） 图表2：中微公司累计装机台数 图表3：中微公司产品系列 资料来源：公司公告、光大证券研究所整理； 资料来源：公司公告、光大证券研究所整理； 图表4：中微公司刻蚀设备种类 资料来源：公司公告、光大证券研究所整理； 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 中微公司（688012.SH） 1. 公司部分季度财务指标 图表5：中微公司近两年单季营收、归母净利润及成本情况 图表6：中微公司近两年单季毛利率及净利率情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 图表7：中微公司近两年合同负债情况 图表8：中微公司近两年存货情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 图表9：中微公司近两年存货周转率情况 图表10：中微公司近两年应付账款周转率情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 敬请参阅最后一页特别声明 -5- 证券研究报告 中微公司（688012.SH） 财务报表与盈利预测 利润表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入 2,273 3,108 4,504 6,142 8,265 营业成本 1,417 1,761 2,544 3,456 4,636 折旧和摊销 78 94 97 117 137 税金及附加 2 19 23 31 41 销售费用 237 296 405 522 661 管理费用 153 203 270 338 455 研发费用 331 398 585 798 1,074 财务费用 -7 -71 -36 -25 -38 投资收益 27 143 130 130 130 营业利润 515 1,133 1,193 1,546 2,052 利润总额 513 1,133 1,192 1,545 2,052 所得税 20 122 119 139 185 净利润 492 1,011 1,073 1,406 1,867 少数股东损益 0 0 0 0 0 归属母公司净利润 492 1,011 1,073 1,406 1,867 EPS(元) 0.92 1.64 1.74 2.28 3.03 现金流量表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 经营活动现金流 846 1,016 1,134 855 2,120 净利润 492 1,011 1,073 1,406 1,867 折旧摊销 78 94 97 117 137 净营运资金增加 441 1,567 3,023 1,172 229 其他 -165 -1,657 -3,059 -1,839 -114 投资活动产生现金流 -537 -6,230 576 -63 -100 净资本支出 -252 -496 -208 -230 -230 长期投资变化 424 555 0 0 0 其他资产变化 -709 -6,289 784 167 130 融资活动现金流 1 8,286 25 27 40 股本变化 0 81 0 0 0 债务净变化 0 12 -12 0 0 无息负债变化 409 1,349 302 822 1,155 净现金流 285 3,058 1,735 819 2,060 资产负债表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 总资产 5,801 16,733 18,096 20,323 23,345 货币资金 1,132 8,659 10,394 11,212 13,272 交易性金融资产 1,505 2,511 2,500 2,500 2,500 应收账款 279 509 642 855 1,122 应收票据 105 96 90 123